专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种CVD炉的炉底盘离合机构-CN202310749533.9在审
  • 刘伟;贺贤汉;夏孝平 - 上海汉虹精密机械有限公司
  • 2023-06-21 - 2023-10-24 - F16D11/00
  • 本发明提供一种CVD炉的炉底盘离合机构,包括炉桶主体,炉桶主体的中下炉体与炉盘底之间安装有两组离合机构,每组离合机构包括一气缸安装座,气缸安装座固定在中下炉体的外壁,气缸安装座通过轴销和气缸的缸体连接,气缸的活塞杆通过销轴与气缸接头连接座连接,炉盘底的外边缘设有离合环,气缸接头连接座固定在离合环上;炉盘底上固定有第一固定块,离合环上固定有第二固定块,第一固定块与第二固定块设有啮合的楔形面,离合环上安装有一导向板,导向板的外侧通过卡口卡在离合环上,且通过螺钉固定;中下炉体上还安装有行程开关,离合环上固定有与行程开关相对应的开关限位块。
  • 一种cvd底盘离合机构
  • [发明专利]一种硅表面平坦化和湿式清洗工艺-CN202310951601.X在审
  • 江成陈;贺贤汉;曹德坤 - 安徽微芯长江半导体材料有限公司
  • 2023-07-31 - 2023-10-24 - H01L21/02
  • 本发明公开了一种硅表面平坦化和湿式清洗工艺,本发明工艺可以更好地维持硅片表面粗糙度。另外,高温溶液以及碱性溶液对于粗糙度的影响最大,这两种溶液中OH的浓度非常高,而氢氧根离子会刻蚀Si表面,引起表面粗糙度的恶化。因而本发明不使用这些高温溶液,在保护硅片表面粗糙度方面具有优良的表现。在本发明中清洗工艺也会引起硅片粗糙度的变化,但是由于表面活性剂易于附着于硅表面,使得H2O2和HF对硅片表面的氧化与刻蚀速度更加均匀,因此表面粗糙度也可以很好的保持。
  • 一种表面平坦清洗工艺
  • [发明专利]一种碳化硅晶片集中清洗设备及集中清洗方法-CN202310951602.4在审
  • 钟超;贺贤汉;高攀;陈辉;章磊 - 安徽微芯长江半导体材料有限公司
  • 2023-07-31 - 2023-10-24 - B08B3/12
  • 本发明提供一种碳化硅晶片集中清洗设备及集中清洗方法,包括清洗室、集中清洗夹具等装置,其中集中清洗夹具包括第一清洗夹具以及第二清洗夹具,在碳化硅晶片集中放置完毕后,通过控制第一清洗夹具翻转至第二清洗夹具上方让二者位置对应能够形成清洗区域,在清洗的过程中能够控制晶片在清洗区域内移动,让碳化硅晶片不同的位置与清洗区域内不同内壁相接触,能够让碳化硅晶片周向的边缘部分均裸露于清洗区域内,能够提高兆声清洗设备对晶片边缘部分的清洗效果,避免污染物质残留。该发明能够在碳化硅晶片清洗的过程中通过偏转夹具的方式让碳化硅晶片位置发生偏转,加强了对其底端边缘位置的清洁效果,提高了整体清洁效率。
  • 一种碳化硅晶片集中清洗设备方法
  • [发明专利]一种可加快坩埚悬空冷却吊具-CN202310951605.8在审
  • 殷仲阳;高攀;贺贤汉 - 安徽微芯长江半导体材料有限公司
  • 2023-07-31 - 2023-10-24 - B66C1/44
  • 本发明公开了一种可加快坩埚悬空冷却吊具,涉及到碳化硅晶体制备技术领域,包括用于将生长炉内坩埚吊起悬空冷却的重力夹持吊具,还包括利用所述坩埚所带热量作为动力源为所述坩埚进行散热的热动力散热机构。本发明结构合理,本发明在原吊具上增设热动力散热机构,本冷却吊具利用坩埚自身的热量进行发电并给电机提供电能,并利用产生的风力对坩埚进行散热,可加快坩埚的悬空冷却速度,且本热动力散热机构散热效果温和,并不会对坩埚以及晶体产生影响。
  • 一种加快坩埚悬空冷却
  • [发明专利]一种移液器吸头包装设备-CN202310985208.2在审
  • 张军练;崔文丽;胡雷;陈芝娟;余海;贺贤汉 - 安徽博日生物科技有限公司
  • 2023-08-07 - 2023-10-24 - B65B35/56
  • 本发明公开了一种移液器吸头包装设备,涉及移液器吸头生产技术领域,包括底座,所述底座的顶端设置有滑道,所述底座的两侧固定连接有把手,所述底座通过支撑机构进行支撑晃动,所述底座通过遮挡机构防止吸头滑落。本发明通过设置支撑机构和遮挡机构,在对装置进行使用时,使得第一支架和第二支架并齐,对第一支架和第二支架进行固定,通过第一支架、第二支架、第一支撑板和第二支撑板对底座进行支撑,同时底座可进行转动,从而无需使用者抬起底座再对底座进行晃动;同时第一支架和第二支架并齐时,挡板自动向上移动对滑道的四周进行阻挡,便于防止吸头位移出滑道,防止吸头发生滑落。
  • 一种移液器吸头包装设备
  • [发明专利]一种碳化硅精密双面研磨机主轴传动装置-CN202310675098.X在审
  • 王文杰;贺贤汉;李湛;叶国卿 - 上海汉虹精密机械有限公司
  • 2023-06-08 - 2023-10-20 - B24B37/08
  • 本发明提供了一种碳化硅精密双面研磨机主轴传动装置,主机架上分别设置有上定盘驱动装置、太阳轮驱动装置、下定盘驱动装置、外齿圈驱动装置和外齿圈升降驱动装置,其中上定盘驱动装置、太阳轮驱动装置、下定盘驱动装置、外齿圈驱动装置通过四个独立的变频驱动电机分别驱动,外齿圈升降驱动装置通过液压升降驱动;主机架的顶面内侧设置有齿轮箱箱体,齿轮箱箱体为闭式齿轮箱体。本发明采用主机架完成整个传动装置的支撑;采用闭式齿轮箱体的封闭齿轮传动,将所有齿轮传动集中到一个齿轮箱中,通过一次装夹加工保证齿轮安装精度,提高齿轮传动的平稳性,并且有效减少了开式齿轮传动所产生的灰尘和油污。
  • 一种碳化硅精密双面研磨机主轴传动装置
  • [实用新型]半导体设备的带孔部件的冲洗支架-CN202320726760.5有效
  • 杨炜;贺贤汉;周毅;蒋立峰;王成明 - 上海富乐德智能科技发展有限公司
  • 2023-04-04 - 2023-10-20 - B08B3/02
  • 本实用新型涉及清洗技术领域。半导体设备的带孔部件的冲洗支架,包括支架,支架上从上至下设置有至少三个滑轨;还包括抽拉框架,抽拉框架与滑轨滑动连接;抽拉框架的中央设置有摆放带孔部件的部件支撑槽,带孔部件包括上端开口的槽形结构,槽形结构的槽底开设有孔洞;部件支撑槽的底部开设有用于带孔部件的孔洞下流出清洗液的通孔;支架的顶部安装有盖板,盖板上开设有清洗口,清洗口正对通孔;清洗口与供给管路对接导通,供给管路连接有供液支路以及供气支路。本实用新型抽拉式的结构,便于带孔部件的放置后,便于带孔部件的同时冲洗。通过供液支路以及供气支路的组合,便于实现不同的清洗压力。
  • 半导体设备部件冲洗支架
  • [发明专利]碲化铋热电棒材的制备方法-CN202211024606.X有效
  • 吴燕青;贺贤汉;丁金勇 - 上海申和投资有限公司
  • 2022-08-25 - 2023-10-13 - C04B35/547
  • 本发明提供了一种碲化铋热电棒材的制备方法,包括配料、材料预处理、挤压成型以及热处理四部分。本发明提供变径热挤出的加工成型工艺,通过变径热挤压过程中的剪切作用,使得晶格发生旋转,从而获得一定数量的理想取向的晶粒;由于热挤压过程积聚了较大的应变能,诱导了重结晶的发生,细化了晶粒,改善了材料电学和热学的性能以及机械强度;通过在模具内设置多个挤压模腔,一次可挤出多根与所需元件等截面积的棒材,棒材经切片后可以直接用于器件的装配,不需要再进行切粒的加工,避免了切粒过程的切缝和边角料的损失,简化了器件制作流程,提高了材料的利用率。
  • 碲化铋热电棒制备方法
  • [发明专利]一种微流控芯片分析仪-CN202310798165.7在审
  • 赵云鹏;余海;贺贤汉 - 杭州博日科技股份有限公司
  • 2023-06-30 - 2023-10-03 - C12M1/00
  • 本申请公开了一种微流控芯片分析仪,涉及生物分子检测技术领域,本申请的微流控芯片分析仪,包括机架以及设置于机架上的离心旋转组件,离心旋转组件的转轴连接设置有托盘以带动托盘离心转动,托盘上的预设位置用于固定微流控芯片,机架上还设置有位于托盘投影上方的磁性件,磁性件的磁场范围覆盖托盘的预设区域。本申请提供的微流控芯片分析仪,能够实现微流控芯片的信息提取室内磁珠的充分扩散,从而提高检测准确性。
  • 一种微流控芯片分析
  • [发明专利]蓝宝石炉晶体生长提拉机构-CN201410767368.0有效
  • 刘海;贺贤汉;和野贵之;陆春生;叶国卿 - 上海汉虹精密机械有限公司
  • 2015-08-03 - 2023-09-26 - C30B29/20
  • 本发明蓝宝石炉晶体生长提拉机构,包括:机架,在机架内穿设有支撑轴;直线模组,直线模组设置在机架上,在直线模组上设有提拉伺服马达机构;提拉基座,提拉基座设置在直线模组上,提拉基座与提拉伺服马达机构连接;承重头,承重头的一端通过转轴与提拉基座转动连接;承重杆,承重杆通过紧固螺栓与承重头固定;提拉轴座,提拉轴座套设在承重杆的外侧,在提拉轴座上设有回旋接头,回旋接头与回旋伺服马达连接;提拉轴,提拉轴穿设于提拉轴座,提拉轴的一端与回旋接头连接;称重计,称重计设置在提拉基座上,称重计前端的调节称重压头与承重头的另一端贴合。本发明籽晶容易调整籽晶位置,满足晶体生长各种工艺要求。
  • 蓝宝石晶体生长机构
  • [实用新型]一种粗糙度测量平台工装-CN202320689811.1有效
  • 周毅;贺贤汉 - 安徽富乐德科技发展股份有限公司
  • 2023-03-31 - 2023-09-26 - G01B21/30
  • 本实用新型公开了一种粗糙度测量平台工装,涉及到半导体部件测量技术领域,包括剪式升降台,所述剪式升降台的上顶板底部固定有U形容纳板,且所述U形容纳板的容纳腔与所述顶板上设有U形开口腔相通,所述U形开口腔的内腔转动设置有安装板,且所述安装板安装有粗糙度检测器,所述安装板通过两侧设有的转轴与所述顶板转动连接,两个所述转轴上均安装有弹性阻尼垫。本实用新型结构合理,本工装通过剪式升降台改变粗糙度检测器的高度以适应对不同高度的检测需求,且不使用时竖直占用空间小,并可将粗糙度检测器旋至剪式升降台顶板与底板之间的收纳空间内进行收纳保护,且不对剪式升降台的竖直占用空间造成影响。
  • 一种粗糙测量平台工装

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