[实用新型]一种半导体产品打标设备有效
申请号: | 202220512967.8 | 申请日: | 2022-03-09 |
公开(公告)号: | CN216793632U | 公开(公告)日: | 2022-06-21 |
发明(设计)人: | 徐晓枫;唐伟炜;丁海春;周仪;张竞扬;柯军松;戴文兵;吴庆华;刘阳;孙涛 | 申请(专利权)人: | 合肥速芯微电子有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/68 |
代理公司: | 上海和华启核知识产权代理有限公司 31339 | 代理人: | 李韶娟 |
地址: | 230001 安徽省合肥市高新区创*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 产品 设备 | ||
1.一种半导体产品打标设备,其特征在于,包括:
顶板、定位组件及压板;
所述顶板通过升降机构安装在机台上,用于提升产品本体靠近或远离印字区域;
所述定位组件设置在所述顶板上,用于提高产品本体在所述顶板上的稳定性;
所述压板设置在所述顶板上方,用于对产品本体进行挤压。
2.如权利要求1所述的半导体产品打标设备,其特征在于,所述定位组件包括设置在所述顶板上的定位凹槽,所述定位凹槽底部设置有真空接口,所述真空接口上连接有真空管道。
3.如权利要求1所述的半导体产品打标设备,其特征在于,还包括纠偏组件,所述纠偏组件包括设置在所述压板两侧的纠正块,所述纠正块上均连接有多根安装杆,所述安装杆外壁贯穿滑动连接有安装板,所述安装板安装在机台上,所述安装杆外壁上均套设有压缩弹簧,所述压缩弹簧位于所述安装板与纠正块之间。
4.如权利要求3所述的半导体产品打标设备,其特征在于,所述纠正块靠近所述压板的一侧表面均设置为斜坡状。
5.如权利要求3所述的半导体产品打标设备,其特征在于,所述纠正块下端与所述压板下表面的间距小于产品本体的厚度。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造