[发明专利]一种半导体封装旋转贴合装置

说明书

本发明提供一种半导体封装旋转贴合装置，包括加热机构和贴合头，装置包括第一级基座、伺服电机、第一级导向机构、第二级基座、DDR电机、第三级基座、第四级基座、第二级导向机构和音圈电机，通过的伺服电机和音圈电机控制贴合头向下，两组冲压设计，为贴合头进行半导体封装时，提供足够的力度，同时借由音圈电机力的大小与施加在线圈上的电流成比例的特性，通过控制电流，从而控制电流从而实现在大力与小力之间的切换，加热机构对贴合头进行加热，从而满足有部分芯片的贴合需要在高温高压的环境下进行的工艺需求，从而实现高精度的半导体封装。

技术领域

本发明涉及半导体封装技术领域，尤其涉及一种半导体封装旋转贴合装置。

背景技术

目前半导体封装是指将通过测试的晶圆按照产品型号及功能需求加工得到独立芯片的过程，在半导体封装行业中一般使用贴片机进行半导体封装，现有的技术中例如Besi Datacon 2200贴片机和infotech Sinter Bonder贴片机，在对于有部分芯片的贴合需要在高温高压的环境下进行以满足工艺需求，所使用的贴合头一般是直接通过直线电机进行驱动向下，形成开环的结构，由于结构限制无法提供足够的力，并且也无法对施加的力提供较为准确的控制，为此需要一种解决无法提供足够的力，并且也无法对施加的力提供较为准确的控制问题的新型高精度贴合装置。

发明内容

本发明目的在于提供一种提供足够的力，且同时能够在大力与小力之间切换，还能够在切换的同时实现大力的闭环力控，高精度的一种半导体封装旋转贴合装置。

为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种半导体封装旋转贴合装置，包括加热机构和贴合头，装置包括第一级基座、伺服电机、第一级导向机构、第二级基座、DDR电机、第三级基座、第四级基座、第二级导向机构和音圈电机。

第一级基座上通过第一级导向机构滑动连接有第二级基座，第一级基座上端固定连接有伺服电机，伺服电机的输出轴与第二级基座连接，第二级基座上设置有第三级基座，第三级基座通过第二级导向机构滑动连接有第四级基座，第三级基座上设有音圈电机，音圈电机的输出轴向下并设置有第四级基座，第四级基座下端设有贴合头，贴合头包裹有加热机构，装置上还设有带动贴合头旋转的DDR电机，第三级基座与第四级基座之间设置有压力传感器。

借由上述结构，通过第一级基座上设有的伺服电机，带动第二级基座向下，从而使得设置在第二级基座上的结构整体上下移动，在进行贴合的同时，音圈电机通过控制第四级基座，进而实现控制贴合头向下，形成两组冲压设计，为贴合头进行半导体封装时，提供足够的力度，同时借由音圈电机力的大小与施加在线圈上的电流成比例，通过控制电流，从而控制电流从而实现在大力与小力之间的切换，装置上还设有带动贴合头旋转的DDR电机，实现了贴合头的旋转，使得贴合头能根据实际要求进行调整，提高贴合精度，加热机构对贴合头进行加热，满足有部分芯片的贴合需要在高温高压的环境下进行的工艺需求，设有压力感器与伺服电机形成闭环，在驱动器检测到压力传感器上传的压力变化值，进行闭环计算，达到控制和检测同步进行的效果，从而实现切换的同时实现大力的闭环力控，提高贴合精度，相对直线电机直接驱动的贴合头，本发明伺服电机和音圈电机的两级配合提高提供足够的力，且同时能够在大力与小力之间切换，配合压力传感器还能够在切换的同时实现大力的闭环力控，从而实现高精度的力控，提高贴合精度。

优选的，第二级基座、第三级基座和第四级基座均为L型板。

优选的，音圈电机共设有两组分别设置在第三级基座两端，并共同第四级基座。

由此可见，通过设有两组音圈电机，有利于提供更强的力，保障大力与小力之间的快速和顺利切换 。

优选的，DDR电机设置在第二级基座和第三级基座之间，DDR电机的输出轴连接第四级基座。

或者DDR电机设置在第四级基座和贴合头之间，DDR电机固定连接在第四级基座上，其输出轴向下连接贴合头。