[发明专利]一种大容量立体堆叠的DDR3芯片在审
申请号: | 202210576411.X | 申请日: | 2022-05-25 |
公开(公告)号: | CN115000046A | 公开(公告)日: | 2022-09-02 |
发明(设计)人: | 杨芳;李居强;王良江 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第五十八研究所 |
主分类号: | H01L23/538 | 分类号: | H01L23/538;H01L25/065 |
代理公司: | 无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙) 32340 | 代理人: | 杨强;杨立秋 |
地址: | 214000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 容量 立体 堆叠 ddr3 芯片 | ||
本发明公开一种大容量立体堆叠的DDR3芯片,属于半导体存储领域,包括多颗DDR3裸芯和TSV;多颗TSV堆叠放置,其两侧分别有相同数量的DDR3裸芯堆叠放置;在水平方向上,每层的DDR3裸芯与同层TSV通过RDL再布线实现同层互连;同层DDR3裸芯与TSV通过molding塑封材料进行包覆,隔绝TSV和DDR3裸芯与外界的接触;所述RDL再布线的底部固定有焊球,用于不同层的互连,最底层的焊球作为芯片的引出端。本发明采用先进封装的技术手段,解决了当前因单颗DDR3芯片位宽较小,需多颗芯片搭配处理器使用,增加系统的体积及重量问题,尺寸小、功耗低、性能稳定。
技术领域
本发明涉及半导体存储技术领域,特别涉及一种大容量立体堆叠的DDR3芯片。
背景技术
DDR3是同步动态随机存取存储器的一种,属于SDRAM家族的内存产品。SDRAM根据始终边沿读取数据的情况分为SDR和DDR,DDR从发展到现在已形成比较成熟的五代,分别是第一代DDR SDRAM,第二代DDR2 SDRAM,第三代DDR3 SDRAM,第四代DDR4 SDRAM,第五代DDR5SDRAM,每代的更新都带来了更高的运行效能与更低的电压。目前DDR3作为成熟的第三代成品,被广泛用于各种嵌入式系统中。
DDR3全称为第三代双倍速率同步动态随机存取存储器,双倍速率是指在时钟信号的上、下沿同时传输数据,是相较于SDR(仅在时钟上升沿传输数据)而言;同步是指Memory工作需要同步时钟,内部的命令的发送与数据的传输都以它为基准;动态是指存储阵列需要不断的刷新来保证数据不丢失;随机是指数据不是线性一次存储,而是自由指定地址进行数据读写。目前主流的DDR3颗粒数据位宽为8位、16位,但一些处理器DDR3控制器的数据位宽有32位、64位、72位等,通过单片DDR3颗粒无法满足处理器要求,需要使用多片DDR3颗粒,在大型系统设计时,需要用到DDR3阵列,大大增加了系统的体积及重量。
发明内容
本发明的目的在于提供一种大容量立体堆叠的DDR3芯片,以解决背景技术中的问题。
为解决上述技术问题,本发明提供了一种大容量立体堆叠的DDR3芯片,包括多颗DDR3裸芯和TSV;
多颗TSV堆叠放置,其两侧分别有相同数量的DDR3裸芯堆叠放置;在水平方向上,每层的DDR3裸芯与同层TSV通过RDL再布线实现同层互连;
同层DDR3裸芯与TSV通过molding塑封材料进行包覆,隔绝TSV和DDR3裸芯与外界的接触;
所述RDL再布线的底部固定有焊球,用于不同层的互连,最底层的焊球作为芯片的引出端。
在一种实施方式中,所述DDR3裸芯的型号为MT41K512M16V91AWC1,所述DDR3裸芯的数量为8,每层DDR3裸芯为2颗,共四层。
在一种实施方式中,每层中的DDR3裸芯含有PAD的一面朝下,与同层中间的TSV进行RDL再布线,通过molding塑封材料进行包覆,底部固定焊球形成一层独立的2片16位DDR3芯片,通过相同的4层垂直方向堆叠,形成2片4倍扩容的64位DDR3芯片。
在一种实施方式中,所述molding塑封材料包覆同层DDR3裸芯与TSV的侧面与顶部,底部露出DDR3裸芯的PAD与TSV的PAD,以用于RDL再布线,最后再进行固定焊球。
在一种实施方式中,所述TSV中布满TSV通孔,用于实现不同层DDR3裸芯的垂直互连,同层DDR3裸芯与TSV通过RDL再布线实现互连,不同层DDR3裸芯通过TSV通孔实现垂直互连,TSV直径为100um,间距为250um,TSV通孔数量为928个。
在一种实施方式中,所述RDL再布线采用中道工艺实现裸芯片的再布线,通过多层RDL再布线将DDR3裸芯与TSV连接,将DDR3裸芯的信号引到TSV上,再通过TSV将所有信号引到最底层焊球,最终实现与外界的互连;所述RDL再布线层为4P4M。
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