[发明专利]低功耗的屏蔽栅半导体功率器件测试装置在审
| 申请号: | 202210233471.1 | 申请日: | 2022-03-10 |
| 公开(公告)号: | CN114927453A | 公开(公告)日: | 2022-08-19 |
| 发明(设计)人: | 周德金;刘桂芝;许剑 | 申请(专利权)人: | 清华大学无锡应用技术研究院;无锡麟力科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/687;H01L21/66;H01L21/67;B08B5/04 |
| 代理公司: | 无锡智麦知识产权代理事务所(普通合伙) 32492 | 代理人: | 王普慧 |
| 地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 功耗 屏蔽 半导体 功率 器件 测试 装置 | ||
本发明提供低功耗的屏蔽栅半导体功率器件测试装置,包括测试台,支撑柱,底板,第一支撑板,斜T型滑槽,控制箱,可滑动插接防护座结构,可复位检测移动座结构,可转动除尘降温罩结构,倒L型遮挡板,检测模块,吸尘器,连接管,可支撑防晃定位架结构,滑槽,滑孔和固定座所述的测试台的下端四角位置分别螺栓连接有支撑柱;所述的支撑柱之间的下部螺栓连接有底板。本发明吸尘器,第一固定管,第二固定管,金属软管和吸尘罩的设置,有利于在使用的过程中通过吸尘器工作时产生的动力,使吸尘罩进行吸尘工作,通过吸尘罩设置在插接座的上方,方便在检测的过程中提高降温效率。
技术领域
本发明属于导体功率器件测试设备技术领域,尤其涉及低功耗的屏蔽栅半导体功率器件测试装置。
背景技术
半导体功率器件在工作过程中常因发热使结温过高导致其损坏,所以在生产的过程中需要使用测试装置进行半导体功率器件测试工作。
但是现有的测试装置还存在着在进行使用的过程中不方便提高降温效果,不方便在检测的过程中进行复位工作以及不方便在检测的过程中进行工件更换的问题。
因此,发明低功耗的屏蔽栅半导体功率器件测试装置显得非常必要。
发明内容
为了解决上述技术问题,本发明提供低功耗的屏蔽栅半导体功率器件测试装置,以解决现有的测试装置还存在着在进行使用的过程中不方便提高降温效果,不方便在检测的过程中进行复位工作以及不方便在检测的过程中进行工件更换的问题。低功耗的屏蔽栅半导体功率器件测试装置,包括测试台,支撑柱,底板,第一支撑板,斜T型滑槽,控制箱,可滑动插接防护座结构,可复位检测移动座结构,可转动除尘降温罩结构,倒L型遮挡板,检测模块,吸尘器,连接管,可支撑防晃定位架结构,滑槽,滑孔和固定座,所述的测试台的下端四角位置分别螺栓连接有支撑柱;所述的支撑柱之间的下部螺栓连接有底板;所述的测试台的上端后面中间位置螺栓连接有第一支撑板;所述的第一支撑板的正表面上部开设有斜T型滑槽;所述的第一支撑板的上端右侧螺栓连接有控制箱;所述的可滑动插接防护座结构分别设置在测试台的上端左右两侧;所述的可复位检测移动座结构安装在斜T型滑槽的内部;所述的可转动除尘降温罩结构分别安装在测试台的左右两侧内部中间位置;所述的倒L型遮挡板从左到右依次螺栓连接在测试台的上端;所述的检测模块安装在可复位检测移动座结构的下端;所述的吸尘器螺栓连接在底板的上端中间位置;所述的吸尘器的左右两侧中间位置下部螺纹连接有连接管;所述的第一支撑板的上端左侧螺栓连接有固定座;所述的固定座的上端内部中间位置开设有滑槽;所述的固定座的正表面下部和后表面下部分别开设有滑孔;所述的可支撑防晃定位架结构安装在固定座的上端内部;所述的可滑动插接防护座结构包括插接座,推拉杆,插接腔,防护垫,固定腔和支撑轮,所述的插接座的正表面下部中间位置螺栓连接有推拉杆;所述的插接座的上端内部中间位置开设有插接腔;所述的插接腔的内部底端胶接有防护垫;所述的插接座的下端内部中间位置开设有固定腔;所述的固定腔的内部销轴连接有支撑轮。
与现有技术相比,本发明的有益效果为:
1.本发明中,所述的吸尘器,第一固定管,第二固定管,金属软管和吸尘罩的设置,有利于在使用的过程中通过吸尘器工作时产生的动力,使吸尘罩进行吸尘工作,通过吸尘罩设置在插接座的上方,方便在检测的过程中提高降温效率。
2.本发明中,所述的第二支撑板,防护罩,按压管,复位弹簧和阿检测座的设置,有利于在检测后,通过复位弹簧拉动阿检测座进行移动工作,方便在检测后进行检测模块复位工作。
3.本发明中,所述的插接座,推拉杆,插接腔,固定腔和支撑轮的设置,有利于在使用的过程中抓住推拉杆进行插接座拉动工作,方便在使用的过程中进行工件更换工作。
4.本发明中,所述的第一固定管,第二固定管,金属软管和吸尘罩的设置,有利于在使用的过程中通过转动金属软管同时带动吸尘罩进行移动,方便在检测的过程中调节吸尘罩的位置。
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