[发明专利]一种电路模块封装结构及其封装方法在审

专利信息
申请号: 202210229140.0 申请日: 2022-03-10
公开(公告)号: CN114496997A 公开(公告)日: 2022-05-13
发明(设计)人: 张光耀;谭小春 申请(专利权)人: 合肥矽迈微电子科技有限公司
主分类号: H01L23/552 分类号: H01L23/552;H01L23/373;H01L23/367;H01L21/56
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 230088 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 电路 模块 封装 结构 及其 方法
【权利要求书】:

1.一种电路模块封装结构,其特征在于,包括基板(10),以及安装在基板(10)上的电路模块(20),所述基板(10)上设有封装体(30),所述封装体(30)固定在所述基板(10)上,且所述电路模块(20)包封在所述封装体(30)内,所述电路模块(20)的四周和远离基板(10)的一侧设有一层屏蔽金属层(40),所述屏蔽金属层(40)嵌入在所述封装体(30)内,且处于远离基板(10)一侧的屏蔽金属层(40)裸露在所述封装体(30)外。

2.根据权利要求1所述的一种电路模块封装结构,其特征在于,所述屏蔽金属层(40)是通过电镀的方式形成的一层金属屏蔽层。

3.根据权利要求1所述的一种电路模块封装结构,其特征在于,所述屏蔽金属层(40)的材质为为Cu、W、Ni或钽金属。

4.根据权利要求1所述的一种电路模块封装结构,其特征在于,所述屏蔽金属层(40)与所述电路模块(20)不接触。

5.一种电路模块封装结构的封装方法,其特征在于,包括以下步骤:

一、将电路模块(20)贴装在已制备完成的基板(10)上;

二、将所述电路模块(20)通过塑封封装形成封装体(30),封装体(30)固定在基板(10)上,所述电路模块(20)完全处于所述封装体(30)内;

三、在所述封装体(30)上通过激光钻孔或者蚀刻,形成环形孔(a),所述环形孔(a)围绕电路模块(20)的四周设置;

四、在所述环形孔(a)的内壁上电镀一层金属层,且处于环形孔(a)内的远离基板(10)的封装体(30)外表面也电镀一层金属层,且环形孔(a)的内壁和封装体(30)外表面的金属层一体成型,形成屏蔽金属层(40);

五、对环形孔(a)及屏蔽金属层(40)进行包封;

六、对通过研磨,使屏蔽金属层(40)上的远离基板(10)的一面暴露出来。

6.根据权利要求5所述的一种电路模块封装结构的封装方法,其特征在于,所述步骤三中,所述环形孔(a)的深度止抵所述基板(10)。

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