[发明专利]一种电路模块封装结构及其封装方法在审
申请号: | 202210229140.0 | 申请日: | 2022-03-10 |
公开(公告)号: | CN114496997A | 公开(公告)日: | 2022-05-13 |
发明(设计)人: | 张光耀;谭小春 | 申请(专利权)人: | 合肥矽迈微电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L23/552 | 分类号: | H01L23/552;H01L23/373;H01L23/367;H01L21/56 |
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地址: | 230088 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电路 模块 封装 结构 及其 方法 | ||
1.一种电路模块封装结构,其特征在于,包括基板(10),以及安装在基板(10)上的电路模块(20),所述基板(10)上设有封装体(30),所述封装体(30)固定在所述基板(10)上,且所述电路模块(20)包封在所述封装体(30)内,所述电路模块(20)的四周和远离基板(10)的一侧设有一层屏蔽金属层(40),所述屏蔽金属层(40)嵌入在所述封装体(30)内,且处于远离基板(10)一侧的屏蔽金属层(40)裸露在所述封装体(30)外。
2.根据权利要求1所述的一种电路模块封装结构,其特征在于,所述屏蔽金属层(40)是通过电镀的方式形成的一层金属屏蔽层。
3.根据权利要求1所述的一种电路模块封装结构,其特征在于,所述屏蔽金属层(40)的材质为为Cu、W、Ni或钽金属。
4.根据权利要求1所述的一种电路模块封装结构,其特征在于,所述屏蔽金属层(40)与所述电路模块(20)不接触。
5.一种电路模块封装结构的封装方法,其特征在于,包括以下步骤:
一、将电路模块(20)贴装在已制备完成的基板(10)上;
二、将所述电路模块(20)通过塑封封装形成封装体(30),封装体(30)固定在基板(10)上,所述电路模块(20)完全处于所述封装体(30)内;
三、在所述封装体(30)上通过激光钻孔或者蚀刻,形成环形孔(a),所述环形孔(a)围绕电路模块(20)的四周设置;
四、在所述环形孔(a)的内壁上电镀一层金属层,且处于环形孔(a)内的远离基板(10)的封装体(30)外表面也电镀一层金属层,且环形孔(a)的内壁和封装体(30)外表面的金属层一体成型,形成屏蔽金属层(40);
五、对环形孔(a)及屏蔽金属层(40)进行包封;
六、对通过研磨,使屏蔽金属层(40)上的远离基板(10)的一面暴露出来。
6.根据权利要求5所述的一种电路模块封装结构的封装方法,其特征在于,所述步骤三中,所述环形孔(a)的深度止抵所述基板(10)。
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