[发明专利]一种芯片封装装置及其封装系统有效

专利信息
申请号: 202210070369.4 申请日: 2022-01-21
公开(公告)号: CN114571615B 公开(公告)日: 2023-10-20
发明(设计)人: 刘长松;梁启超;杨龙;黄铭 申请(专利权)人: 江西红板科技股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;B28D5/02;B28D7/04;B28D7/02;B28D7/00;B23K37/00;B07C5/36
代理公司: 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 代理人: 范小凤
地址: 343100 江西省吉安*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 封装 装置 及其 系统
【说明书】:

一种芯片封装装置,包括工作台、机架、切割组件及固定组件;所述机架固定于工作台上,所述工作台的上端还设有加工槽,所述固定组件装设于机架上且可活动升降;所述切割组件包括切割刀、切割架及承载台,所述承载台包括若干呈间隔设计的承载块;所述切割刀固定装设于加工槽内,所述切割架包括一个转环及穿设于转环上的若干连接杆;所述加工槽内设有第一滑轨,所述转环活动卡合于第一滑轨内,若干所述承载块均穿设于连接杆上,若干所述连接杆纵横交错地装设于转环上且可活动伸缩。此外,本发明还提供一种芯片封装系统。本发明通过设置特殊的切割组件与固定组件防止切割后的晶粒散落,而无需贴蓝膜再褪蓝膜;本发明实用性强,具有较强的推广意义。

技术领域

本发明涉及芯片封装领域,尤其涉及一种芯片封装装置及其封装系统。

背景技术

芯片封装即安装半导体集成电路芯片用的外壳,具有安放、固定、密封、保护芯片和增强电热性能的作用。芯片封装是沟通芯片内部世界与外部电路的桥梁,芯片的接点用导线连接到封装外壳的引脚上,引脚又通过印制板上的导线与其他器件建立连接;封装对CPU和其他LSI集成电路都起着重要的作用,引脚数增多,引脚间距减小、重量减小、可靠性提高,使用更加方便。

在芯片封装过程中,晶圆切割其中一道很重要的工序,现有的技术中,大多通过切割刀轮对晶圆进行切割,使其成为若干晶粒。在晶圆切割过程中,一般通过贴蓝膜再切割的方式,使切割分散的晶粒不会四处散落。但贴蓝膜再褪蓝膜的操作不仅操作繁琐,还需要耗费大量的蓝膜材料,极大地浪费了人力物力。

发明内容

基于此,有必要针对现有技术中的不足,提供一种芯片封装装置。

一种芯片封装装置,用于切割晶圆,其包括工作台、机架、切割组件及固定组件。所述机架固定于工作台上,所述工作台的上端还设有加工槽,所述固定组件装设于机架上且可活动升降。所述切割组件包括切割刀、切割架及承载台,所述承载台包括若干呈间隔设计的承载块。所述切割刀固定装设于加工槽内,所述切割架包括一个转环及穿设于转环上的若干连接杆。所述加工槽内设有第一滑轨,所述转环活动卡合于第一滑轨内,若干所述承载块均穿设于连接杆上,若干所述连接杆纵横交错地装设于转环上且可活动伸缩。

进一步地,所述切割刀包括刀轮、伸缩刀柄、支撑杆及刀架。所述刀架固定装设于加工槽的槽底,且其内侧设有第二滑轨,所述支撑杆的两端分别嵌合于第二滑轨内且可沿第二滑轨滑动。所述伸缩刀柄的下端穿设于支撑杆中且可沿支撑杆滑动,所述刀轮固定装设于伸缩刀柄的上端。

进一步地,若干所述连接杆的两端均设有滑动轮,所述转环上对应设有第三滑轨。所述滑动轮嵌合于第三滑轨内,任意平行且相邻的两个所述连接杆之间的距离均设计为活动可调。

进一步地,若干所述连接杆均呈两段式间隔相对设置,其间隔距离大于或等于相邻两个承载块之间的间隔距离,相邻两个所述承载块之间的间隔距离大于切割刀的刀轮厚度。

进一步地,所述固定组件包括固定架及若干可活动伸缩的固定杆,所述机架上设有升降通孔,所述固定架活动卡合于升降通孔内,若干所述固定杆均装设于固定架上。

进一步地,所述固定架上还设有第四滑轨及若干滑动杆。若干所述滑动杆的两端均嵌合于第四滑轨内且可沿第四滑轨滑动。若干所述固定杆的上端均穿设于滑动杆中且可沿滑动杆滑动。

进一步地,所述固定杆呈中空设计,且其下端设有负压吸盘,可用于吸附固定。所述负压吸盘的材质为弹性密封材质。

进一步地,所述芯片封装装置还包括若干清洁降温组件,所述清洁降温组件包括清洁喷头及输水管。所述清洁喷头装设于固定杆的外侧下端,所述输水管与清洁喷头连接。

此外,本发明还提供一种芯片封装系统。

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