[发明专利]一种芯片封装装置及其封装系统有效
| 申请号: | 202210070369.4 | 申请日: | 2022-01-21 |
| 公开(公告)号: | CN114571615B | 公开(公告)日: | 2023-10-20 |
| 发明(设计)人: | 刘长松;梁启超;杨龙;黄铭 | 申请(专利权)人: | 江西红板科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B28D5/02;B28D7/04;B28D7/02;B28D7/00;B23K37/00;B07C5/36 |
| 代理公司: | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人: | 范小凤 |
| 地址: | 343100 江西省吉安*** | 国省代码: | 江西;36 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 芯片 封装 装置 及其 系统 | ||
1.一种芯片封装装置,用于切割晶圆,其特征在于:包括工作台、机架、切割组件及固定组件;所述机架固定于工作台上,所述工作台的上端还设有加工槽,所述固定组件装设于机架上且可活动升降;所述切割组件包括切割刀、切割架及承载台,所述承载台包括若干呈间隔设计的承载块;所述切割刀固定装设于加工槽内,所述切割架包括一个转环及穿设于转环上的若干连接杆;所述加工槽内设有第一滑轨,所述转环活动卡合于第一滑轨内,若干所述承载块均穿设于连接杆上,若干所述连接杆纵横交错地装设于转环上且可活动伸缩。
2.如权利要求1所述的芯片封装装置,其特征在于:所述切割刀包括刀轮、伸缩刀柄、支撑杆及刀架;所述刀架固定装设于加工槽的槽底,且其内侧设有第二滑轨,所述支撑杆的两端分别嵌合于第二滑轨内且可沿第二滑轨滑动;所述伸缩刀柄的下端穿设于支撑杆中且可沿支撑杆滑动,所述刀轮固定装设于伸缩刀柄的上端。
3.如权利要求1所述的芯片封装装置,其特征在于:若干所述连接杆的两端均设有滑动轮,所述转环上对应设有第三滑轨;所述滑动轮嵌合于第三滑轨内,任意平行且相邻的两个所述连接杆之间的距离均设计为活动可调。
4.如权利要求1所述的芯片封装装置,其特征在于:若干所述连接杆均呈两段式间隔相对设置,其间隔距离大于或等于相邻两个承载块之间的间隔距离,相邻两个所述承载块之间的间隔距离大于切割刀的刀轮厚度。
5.如权利要求1所述的芯片封装装置,其特征在于:所述固定组件包括固定架及若干可活动伸缩的固定杆,所述机架上设有升降通孔,所述固定架活动卡合于升降通孔内,若干所述固定杆均装设于固定架上。
6.如权利要求5所述的芯片封装装置,其特征在于:所述固定架上还设有第四滑轨及若干滑动杆;若干所述滑动杆的两端均嵌合于第四滑轨内且可沿第四滑轨滑动;若干所述固定杆的上端均穿设于滑动杆中且可沿滑动杆滑动。
7.如权利要求5所述的芯片封装装置,其特征在于:所述固定杆呈中空设计,且其下端设有负压吸盘,可用于吸附固定;所述负压吸盘的材质为弹性密封材质。
8.如权利要求5所述的芯片封装装置,其特征在于:所述芯片封装装置还包括若干清洁降温组件,所述清洁降温组件包括清洁喷头及输水管;所述清洁喷头装设于固定杆的外侧下端,所述输水管与清洁喷头连接。
9.一种芯片封装系统,其特征在于:包括晶圆切割装置及芯片焊接装置;所述晶圆切割装置为权利要求1至8任意一权利要求所述的芯片封装装置。
10.如权利要求9所述的芯片封装系统,其特征在于:所述芯片焊接装置包括电焊、控制开关及定时器;所述控制开关可以控制电焊启动或停止,所述定时器与控制开关信号连接,可以向控制开关发送断开信号或接收来自控制开关的连通信号。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





