[发明专利]一种芯片封装装置及其封装系统有效

专利信息
申请号: 202210070369.4 申请日: 2022-01-21
公开(公告)号: CN114571615B 公开(公告)日: 2023-10-20
发明(设计)人: 刘长松;梁启超;杨龙;黄铭 申请(专利权)人: 江西红板科技股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;B28D5/02;B28D7/04;B28D7/02;B28D7/00;B23K37/00;B07C5/36
代理公司: 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 代理人: 范小凤
地址: 343100 江西省吉安*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 封装 装置 及其 系统
【权利要求书】:

1.一种芯片封装装置,用于切割晶圆,其特征在于:包括工作台、机架、切割组件及固定组件;所述机架固定于工作台上,所述工作台的上端还设有加工槽,所述固定组件装设于机架上且可活动升降;所述切割组件包括切割刀、切割架及承载台,所述承载台包括若干呈间隔设计的承载块;所述切割刀固定装设于加工槽内,所述切割架包括一个转环及穿设于转环上的若干连接杆;所述加工槽内设有第一滑轨,所述转环活动卡合于第一滑轨内,若干所述承载块均穿设于连接杆上,若干所述连接杆纵横交错地装设于转环上且可活动伸缩。

2.如权利要求1所述的芯片封装装置,其特征在于:所述切割刀包括刀轮、伸缩刀柄、支撑杆及刀架;所述刀架固定装设于加工槽的槽底,且其内侧设有第二滑轨,所述支撑杆的两端分别嵌合于第二滑轨内且可沿第二滑轨滑动;所述伸缩刀柄的下端穿设于支撑杆中且可沿支撑杆滑动,所述刀轮固定装设于伸缩刀柄的上端。

3.如权利要求1所述的芯片封装装置,其特征在于:若干所述连接杆的两端均设有滑动轮,所述转环上对应设有第三滑轨;所述滑动轮嵌合于第三滑轨内,任意平行且相邻的两个所述连接杆之间的距离均设计为活动可调。

4.如权利要求1所述的芯片封装装置,其特征在于:若干所述连接杆均呈两段式间隔相对设置,其间隔距离大于或等于相邻两个承载块之间的间隔距离,相邻两个所述承载块之间的间隔距离大于切割刀的刀轮厚度。

5.如权利要求1所述的芯片封装装置,其特征在于:所述固定组件包括固定架及若干可活动伸缩的固定杆,所述机架上设有升降通孔,所述固定架活动卡合于升降通孔内,若干所述固定杆均装设于固定架上。

6.如权利要求5所述的芯片封装装置,其特征在于:所述固定架上还设有第四滑轨及若干滑动杆;若干所述滑动杆的两端均嵌合于第四滑轨内且可沿第四滑轨滑动;若干所述固定杆的上端均穿设于滑动杆中且可沿滑动杆滑动。

7.如权利要求5所述的芯片封装装置,其特征在于:所述固定杆呈中空设计,且其下端设有负压吸盘,可用于吸附固定;所述负压吸盘的材质为弹性密封材质。

8.如权利要求5所述的芯片封装装置,其特征在于:所述芯片封装装置还包括若干清洁降温组件,所述清洁降温组件包括清洁喷头及输水管;所述清洁喷头装设于固定杆的外侧下端,所述输水管与清洁喷头连接。

9.一种芯片封装系统,其特征在于:包括晶圆切割装置及芯片焊接装置;所述晶圆切割装置为权利要求1至8任意一权利要求所述的芯片封装装置。

10.如权利要求9所述的芯片封装系统,其特征在于:所述芯片焊接装置包括电焊、控制开关及定时器;所述控制开关可以控制电焊启动或停止,所述定时器与控制开关信号连接,可以向控制开关发送断开信号或接收来自控制开关的连通信号。

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