[实用新型]一种半导体芯片塑封装置有效
| 申请号: | 202121046050.5 | 申请日: | 2021-05-14 |
| 公开(公告)号: | CN214753654U | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
| 发明(设计)人: | 张先兵;徐林;张锋;张传喜;查从进;章立超;李朱根 | 申请(专利权)人: | 铜陵中锐电子科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56 |
| 代理公司: | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人: | 何静 |
| 地址: | 244000*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 半导体 芯片 塑封 装置 | ||
1.一种半导体芯片塑封装置,塑封装置包括底板(1),其特征在于,所述底板(1)上设有固定板(2),固定板(2)上设有阵列分布的下模具组件(3),下模具组件(3)包括下模具(31),下模具(31)内设有均安装槽(33),下模具(31)上设有密封垫(32)固定板(2)上方设有填料组件(4),填料组件(4)包括升降架(41),升降架(41)内设有滑动的入料架(421),升降架(41)下设有阵列分布的上模具组件(5),上模具组件(5)包括上模具(51),上模具(51)上设有投料通孔(52),投料通孔(52)四周设有加热线圈(56),升降架(41)上方设有压合组件(6)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片塑封装置,其特征在于,所述固定板(2)固定在底板(1)上,固定板(2)上设有阵列分布的第一安装槽(21)。
3.根据权利要求2所述的一种半导体芯片塑封装置,其特征在于,所述第一安装槽(21)内均设有阵列分布的下模具组件(3),下模具(31)固定在第一安装槽(21)内,下模具(31)上设有阵列分布的第一开孔(311)和阵列分布的第一安装柱(312),密封垫(32)上设有阵列分布的第二开孔(321)和对称分布的第三开孔(322),第一开孔(311)与第二开孔(321)同心,第一安装柱(312)穿过第三开孔(322)。
4.根据权利要求1所述的一种半导体芯片塑封装置,其特征在于,所述升降架(41)内设有对称分布的滑动支撑板(411)和阵列分布的第四开孔(412),升降架(41)下设有阵列分布的第二安装槽(413),第二安装槽(413)内均设有对称分布的卡柱(414),升降架(41)一端设有第一气缸(42),第一气缸(42)伸缩端设有入料架(421),入料架(421)上设有阵列分布的入料管(422),第一气缸(42)推动入料架(421)在滑动支撑板(411)上滑动;
所述升降架(41)两侧均设有阵列分布的第二气缸(43),第二气缸(43)尾端固定在底板(1)上,第二气缸(43)伸缩端与升降架(41)固定连接,第二气缸(43)推动升降架(41)升降。
5.根据权利要求1所述的一种半导体芯片塑封装置,其特征在于,所述上模具(51)四周均设有卡槽(53),上模具(51)安装在第二安装槽(413)内,卡柱(414)固定在卡槽(53)内,上模具(51)下设有阵列分布的第二安装柱(54)和对称分布的第五开孔(55),加热线圈(56)对投料通孔(52)加热。
6.根据权利要求1所述的一种半导体芯片塑封装置,其特征在于,所述压合组件(6)包括压合架(61),压合架(61)两侧均设有阵列分布的第三气缸(63),第三气缸(63)伸缩端与压合架(61)固定连接,压合架(61)尾端固定在升降架(41)上,压合架(61)下设有阵列分布的压缩活塞(62),压缩活塞(62)与投料通孔(52)同心。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





