[实用新型]一种支撑盘、机械手以及传送装置

权利要求书

1.一种支撑盘，其用于支撑待支撑件的支撑侧待支撑件，其特征在于，所述支撑侧的表面设有槽(11)，所述槽(11)在第一方向上的两端分别为第一端和第二端，所述第二端为贯穿所述支撑侧的外边缘的缺口端(112)；所述第二端沿第二方向的尺寸大于所述第一端沿第二方向的尺寸，所述第二方向垂直于所述第一方向。

2.如权利要求1所述的支撑盘，其特征在于，所述槽(11)的另一端封闭，为封闭端(111)。

3.如权利要求2所述的支撑盘，其特征在于，沿所述缺口端(112)至所述封闭端(111)的方向，所述缺口端(112)的宽度最宽，所述封闭端(111)的宽度最小。

4.如权利要求3所述的支撑盘，其特征在于，所述槽(11)包括相接的第一段和第二段，所述缺口端(112)为所述第一段的末端，所述封闭端(111)为所述第二段的末端，所述第一段为梯形段，所述第二段为长方形段。

5.如权利要求1-4任一项所述的支撑盘，其特征在于，所述槽(11)为具有底部的凹槽，或所述槽(11)为通槽，所述通槽沿所述支撑盘(1)的厚度方向贯穿所述支撑盘(1)。

6.如权利要求1-4任一项所述的支撑盘，其特征在于，所述支撑侧的表面形成多个支撑区域，多个所述支撑区域分别为中心支撑区域，以及包围所述中心支撑区域的一个环形支撑区域或多个同心设置的环形支撑区域；所述支撑区域表面具有气槽，同一所述支撑区域的气槽相互连通，不同支撑区域的气槽相互隔离设置；所述槽(11)自所述支撑盘(1)边缘延伸至所述中心支撑区域。

7.如权利要求6所述的支撑盘，其特征在于，所述支撑盘(1)设有至少一个光学元件，所述光学元件设于所述支撑区域的外边缘，所述光学元件用于向待支撑件发射光束，或者反射光束至待支撑件边缘。

8.如权利要求7所述的支撑盘，其特征在于，最外侧的所述环形支撑区域的外边缘为所述支撑侧的外边缘，所述支撑侧的外边缘设有至少一个贯通所述支撑侧表面的缺口(14)，所述缺口(14)位置设有所述光学元件。

9.如权利要求8所述的支撑盘，其特征在于，所述缺口(14)还贯通所述支撑盘(1)上与所述支撑侧相对的另一侧，所述光学元件设于所述另一侧对应于所述缺口(14)的位置；

所述光学元件为反射镜(12)、光源或反光金属(13)。

10.一种机械手，其特征在于，包括机械手指和机械臂，机械手指用于支撑待支撑件待支撑物；所述机械手指具有在第一方向上的第三端和第四端，所述第三端为自由端，所述机械手臂连接所述机械手指的第四端，所述第四端沿第二方向的尺寸大于第三端沿第二方向的尺寸，所述第二方向垂直于第一方向。

11.如权利要求10所述的机械手，其特征在于，沿所述第三端至所述第四端的方向，所述第三端的宽度最小，所述第四端的宽度最大。

12.如权利要求10所述的机械手，其特征在于，所述机械手指(2)包括相接的第三段和第四段，所述第四端为所述第四段的末端，所述第三端为所述第三段的末端，所述第三段为梯形段，所述第四段为长方形段。

13.一种传送装置，其特征在于，包括权利要求1-10任一项所述的支撑盘，以及用于支撑待支撑件的机械手；所述机械手包括机械手指(2)，所述机械手指(2)能够容纳于所述支撑盘(1)的所述槽(11)中。