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[发明专利]待测物的聚焦方法及聚焦系统、设备和存储介质-CN202011636597.0有效
发明人：陈鲁;吕肃;李青格乐;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G02B7/36 文献下载
摘要：一种待测物的聚焦方法及聚焦系统、设备和存储介质，聚焦方法包括：获取待测物在不同聚焦高度下的标定图像；根据标定图像获取每层标定图形的第一聚焦度参数与聚焦高度的分布关系，分布关系为高斯分布；分别对多层标定图形的分布关系求对数后进行加权处理，获取与聚焦高度呈线性关系的标定曲线；获取最佳聚焦高度参考值；拍摄获取待测物的待测图像；根据待测图像获取每层标定图形的第二聚焦度参数；将待测图像中每层标定图形的第二聚焦度参数分别求对数后进行加权处理，获取测试差值；利用标定曲线确定测试差值所对应的实际高度，并计算最佳聚焦高度参考值与实际高度的差值作为待测图像的离焦量。本发明在保证聚焦精度的同时，提高聚焦速度。
待测物聚焦方法系统设备存储介质

[发明专利]一种光学设备及实现自动聚焦的方法-CN202010157863.5有效
发明人：陈鲁;李青格乐;江博闻 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2020-03-09 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本申请公开了一种光学设备及实现自动聚焦的方法。该方案中，光学设备包括光学处理模块和自动聚焦模块，其中，光学处理模块用于实现该光学设备固有的光学处理功能；而自动聚焦模块则用于实现对该光学设备的自动聚焦。自动聚焦模块中包括光源和第一共聚焦器件，应用该光源和第一共聚焦器件即采用共聚焦技术，提升自动聚焦的精度。因此，该光学设备可以很好地应用在对于自动聚焦精度具有较高要求的光学处理环节。
一种光学设备实现自动聚焦方法

[发明专利]检测装置及检测方法-CN202010624213.7有效
发明人：陈鲁;方一;李青格乐;张军;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2020-06-30 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G01N21/89 文献下载
摘要：本申请公开了一种检测装置及检测方法，通过检焦模块获取待测物的待测区内子区域沿测量方向的高度信息，其中，向待测物的待测区表面发射第一检测光束，待测区包括至少一个子区域，第一检测光束包括多个不同波长的光，多个不同波长的光聚焦在沿测量方向的不同位置，第一检测光束经所述子区域反射形成第一反射光；获取待测区反射的多个不同波长的第一信号光，根据不同波长的第一信号光光强获取所述待测区内所述子区域沿所述测量方向的高度信息；检测模块根据高度信息对所述子区域进行聚焦；根据高度信息对所述子区域进行聚焦之后，对所述子区域进行检测，得到所述子区域的结构信息，实现了对待测物表明的划痕、裂纹等缺陷的精确检测。
检测装置方法

[发明专利]转换关系的获取方法、测量方法及测量系统-CN202011070282.4有效
发明人：陈鲁;吕肃;方一;李青格乐;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2020-09-30 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01B21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种转换关系的获取方法、测量方法和测量系统，其中，转换关系的获取方法包括：提供检测设备，所述检测设备具有第一坐标系；提供待测物，所述待测物具有第二坐标系，所述待测物表面具有多个特征点，所述特征点在第二坐标系下具有特征坐标；将所述待测物放置于所述检测设备；在将所述待测物放置于所述检测设备之后，通过检测设备对多个所述特征点进行检测，获取特征点在第一坐标系下的测量坐标；根据所述特征坐标与所述测量坐标，获取所述第一坐标系与所述第二坐标系之间的转换关系。所述转换关系的获取方法能够提高获取速度及转换关系的精度。
转换关系获取方法测量方法测量系统

[发明专利]检测设备的控制方法、检测设备及计算机可读存储介质-CN202110249951.2有效
发明人：陈鲁;吴汉权;李青格乐;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-03-08 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： B23P23/06 文献下载
摘要：本申请公开了一种检测设备的控制方法，检测设备包括第一机械手和第二机械手，第一机械手和第二机械手通过同一个运动主体活动地安装于同一轨道，控制方法包括：在第一机械手空置，且第二机械手未接收到下料请求时，第一机械手运动至上料台并抓取位于上料台的待测工件；在至少一个送检台空置时，第一机械手运动至空置的一个送检台并放置待测工件至空置的一个送检台；在第二机械手空置，且第一机械手未接收到上料请求时，第二机械手运动至一个待下料的送检台，并抓取位于待下料的送检台上的已测工件；及第二机械手根据已测工件的检测结果放置已测工件于下料台或回收台。本申请还公开了检测设备及非易失性计算机可读存储介质。
检测设备控制方法计算机可读存储介质

[发明专利]坐标系建立方法、检测装置、检测设备及存储介质-CN202110351337.7有效
发明人：陈鲁;刘欢敏;吕肃;李青格乐 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-03-31 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本申请提供一种坐标系建立方法、检测装置、检测设备及计算机可读存储介质。坐标系建立方法包括：通过第一传感器采集待测件的二维图像、及通过第二传感器采集待测件与第二传感器之间的距离信息；根据二维图像和距离信息确定待测件的第一坐标系和待测件的标准模型的第二坐标系之间的位置偏差；及根据位置偏差和第二坐标系建立第一坐标系。本申请的坐标系建立方法中，通过采集待测件的二维图像、及待测件与第二传感器之间的距离信息，并将二维图像、距离信息与待测件的标准模型对应的信息进行对比，以确定待测件的第一坐标系与标准模型的第二坐标系之间的位置偏差，根据位置偏差和第二坐标系能够准确地建立待测件的第一坐标系。
坐标系建立方法检测装置设备存储介质

[发明专利]调节机构、镜头模组及检测设备-CN202110094015.9有效
发明人：陈鲁;吴汉权;李青格乐;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G02B7/02 文献下载
摘要：本申请提供一种调节机构、镜头模组及检测设备。调节机构用于固定被调节件，调节机构包括安装件、固定件及缓冲件。安装件设有收容腔，收容腔用于收容被调节件；固定件能够活动地安装于安装件的侧壁；缓冲件至少部分伸入安装件的侧壁，缓冲件的两端分别与固定件和被调节件抵持。本申请的调节机构、镜头模组及检测设备中，固定件能够活动地安装于安装件的侧壁，在固定件调节至远离被调节件的位置并调整好被调节件的位置后，固定件被拧紧并推动缓冲件与被调节件抵持，可避免固定件直接与被调节件接触而对被调节件施加偏转的转矩，防止调整好位置的被调节件再次发生偏转，从而保证检测设备的检测精度。
调节机构镜头模组检测设备

[发明专利]抓取装置及转运系统-CN202110087503.7有效
发明人：陈鲁;叶华平;李青格乐;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本申请提供一种抓取装置及转运系统。抓取装置包括载台及多个抓取件。载台用于抓取工件。每个抓取件的一端连接于载台，另一端凸出于载台，多个抓取件分别用于抓取不同状态的工件的电路板，电路板凸出于工件。本申请的抓取装置及转运系统中，多个抓取件分别用于抓取不同状态的工件的电路板，以确保无论工件处于何种状态，例如，无论工件的正面朝上，还是背面朝上，都有对应的抓取件抓取电路板，同时，无需花时间单独调整抓取件使其对准电路板，节省了抓取时间，提升了固定工件和电路板的效率。
抓取装置转运系统

[发明专利]测量方法及其测量系统-CN201811114690.8有效
发明人：陈鲁;吕肃;李青格乐;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2018-09-25 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明涉及测量方法及其测量系统。具体而言，测量方法包括以下步骤：提供检测设备，检测设备具有第一坐标系；提供待测物体，检测设备具有第二坐标系和测量轨迹，测量轨迹在第二坐标系下具有第一轨迹信息；将待测物体放置于检测设备；在将待测物体放置于检测设备之后，获得第一坐标系与第二坐标系之间的转换关系；利用转换关系获得测量轨迹在第一坐标系中的第二轨迹信息；利用检测设备根据第二轨迹信息对测量轨迹进行测量，得到测量轨迹在第一坐标系中的第一检测信息。
测量方法及其测量系统

[发明专利]检测方法及其检测系统-CN201811122751.5有效
发明人：陈鲁;吕肃;李青格乐;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2018-09-26 - 公布日： 2023-02-07 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：提供了一种检测方法，其包括以下步骤：提供物体，且将物体的待测区域划分为多个子区域；获取各个子区域的特征向量；设定多个测量方向；根据各个子区域的特征向量与各个测量方向之间的夹角，对各个子区域分配测量方向；提供检测设备；通过检测设备在一个或多个测量方向下对子区域进行分区测量，获得相应的检测信息，对任一子区域进行分区测量的测量方向为其分配的测量方向。本发明还涉及实现该检测方法的检测系统。
检测方法及其系统

[发明专利]对准系统及对准方法-CN202110129422.9有效
发明人：陈鲁;李青格乐;江博闻;蒋璐翔 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-01-29 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种对准系统，对准系统包括光源、第一成像系统、第二成像系统及处理系统，光源用于产生探测光，探测光经待测物之后形成信号光，经待测物边缘形成的信号光为第一信号光，经待测物的定位图案形成的信号光为第二信号光，第一信号光携带待测物边缘的信息，第二信号光携带待测物的基准角点的信息；第一成像系统用于根据第一信号光以第一倍率对待测物边缘进行成像，以获取待测物边缘的第一图像；及第二成像系统用于根据第二信号光以第二倍率对待测物的定位图案进行成像，以获取待测物的定位图案的第二图像，第二倍率大于第一倍率；处理系统用于根据第一图像和第二图像获取待测物的位置信息。本申请还公开了一种对准方法。
对准系统方法

[发明专利]检测设备及其检测方法-CN202110616308.9在审
发明人：陈鲁;李青格乐;魏林鹏;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-06-02 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种检测设备，其中，所述检测设备包括：发光装置、收集装置、空间滤波器和探测组件；发光装置，用于产生照射待测物的入射光，所述待测物表面具有图案标记，所述图案标记包括条纹标记，所述条纹标记包括同一方向重复排列的多个条纹，所述入射光经所述图案标记后形成携带莫尔条纹信息的信号光；收集装置，用于收集所述信号光，并使信号光传播至所述空间滤波器；所述空间滤波器位于所述收集装置的傅里叶平面处，用于对所述收集装置收集的信号光进行滤波，去除信号光中频率较低的部分分量；探测组件，用于根据经过空间滤波器滤波的信号光对所述莫尔条纹进行成像，形成检测图像。检测设备能够提高所形成图形的对比度，提高检测精度。
检测设备及其方法

[发明专利]检测设备及其检测方法-CN202110153927.9有效
发明人：陈鲁;李青格乐;张军;林飞;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-02-04 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： H04N5/232 文献下载
摘要：检测设备及其检测方法，所述检测设备包括：检测组件，用于对待测物、的套刻标记进行检测，套刻标记包括第一标记和第二标记；运动台，用于使检测组件和待测物相对移动；所述检测方法包括：检测组件采集包含第一标记的第一图像；运动采集装置在第一曝光时间内采集运动台的振动值，获取第一抖动值序列；检测组件采集包含第二标记的第二图像；运动采集装置在第二曝光时间内获取第二抖动值序列；根据第一和第二抖动值序列获取第一标记的第一抖动补偿值和第二标记的第二抖动值补偿值；根据第一图像、第二图像、第一抖动补偿值和第二抖动补偿值，获取所述第一标记和所述第二标记在检测面内的对准误差。采用上述方案可以提高对准误差检测结果的准确性。
检测设备及其方法

[发明专利]载物台及检测治具-CN202011035053.9有效
发明人：陈鲁;叶华平;李青格乐;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2020-09-27 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： B25H1/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种载物台，载物台包括承载件、第一定位件及第二定位件，承载件用于承载待检测件，第一定位件与承载件滑动连接，第一定位件能够相对于承载件沿第一方向滑动；第二定位件滑动安装在承载件上，第二定位件能够相对于第一定位件沿第二方向滑动，第二方向与第一方向不同；其中，第一定位件及第二定位件共同限定一个定位空间，第一定位件及/或第二定位件用于与位于定位空间内的待检测件相互抵靠，以定位待检测件；第一定位件及/或第二定位件能够相对承载件滑动，进而抵靠不同尺寸的待检测件。本申请还公开了一种检测治具。本申请的载物台及检测治具通过滑动第一定位件及/或第二定位件，可以对不同尺寸的待检测件进行定位。
载物台检测

[发明专利]检测设备及其控制方法以及检测镜头组件和控制器-CN201910758107.5有效
发明人：陈鲁;李青格乐;吴远法;蒋路翔;邓旺财;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2019-08-16 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本公开提出一种检测设备及其控制方法以及检测镜头组件和控制器，涉及检测技术领域。通过在检测镜头上设置各种传感器，例如，压力传感器、光电传感器、电容传感器等，控制器基于这些传感器传来的检测信号控制检测镜头和/或置物台改变运动，防止碰撞的发生或减小碰撞损失。
检测设备及其控制方法以及镜头组件控制器

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