[实用新型]一种用于半导体封装设备的吹气吹尘装置有效
| 申请号: | 202120479606.3 | 申请日: | 2021-03-05 |
| 公开(公告)号: | CN214378348U | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
| 发明(设计)人: | 李桂新 | 申请(专利权)人: | 安徽微泰导航电子科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B08B5/02 |
| 代理公司: | 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人: | 刘刚 |
| 地址: | 247100 安徽省池州市贵池区*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 半导体 封装 设备 吹气 装置 | ||
1.一种用于半导体封装设备的吹气吹尘装置,包括工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)的上端面设置有连接座(6),所述连接座(6)上方的中部设置有操作台(603),所述连接座(6)的下方设置有伺服电机(601),所述工作台(1)下端面设置有两个均匀分布的支撑电控杆(602),两个所述支撑电控杆(602)的输出端均贯穿工作台(1)并延伸至工作台(1)的外部与连接座(6)的下端面固定连接,所述连接座(6)的左右两侧分别设置有左驱动板架(4)和右驱动板架(5),所述左驱动板架(4)和右驱动板架(5)相背的一侧分别固定连接有吹尘机(401)和侧吸尘机(501),所述左驱动板架(4)右侧的上方和下方分别设置有多个斜吹尘头(404)和多个直吹尘头(405),所述右驱动板架(5)左侧的上方和下方分别设置有多个斜吸尘头(504)和多个直吸尘头(505);
所述连接座(6)的上方设置有支撑架(2),所述支撑架(2)的左右两侧分别设置有两个左驱动电控杆(402)和两个右驱动电控杆(502),两个所述左驱动电控杆(402)和两个右驱动电控杆(502)的输出端均贯穿支撑架(2)并延伸至支撑架(2)的外部,且分别与左驱动板架(4)和右驱动板架(5)固定连接,所述支撑架(2)的下端面与工作台(1)的上端面固定连接,所述支撑架(2)的上端面固定连接有顶部吸尘机(3),所述支撑架(2)顶部的下方设置有多个均匀分布的顶部吸尘头(302)。
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体封装设备的吹气吹尘装置,其特征在于:所述左驱动板架(4)的中部设置有左分流管(403),所述吹尘机(401)的输出端与左分流管(403)连通,多个所述斜吹尘头(404)和多个直吹尘头(405)均与左分流管(403)连通。
3.根据权利要求1所述的一种用于半导体封装设备的吹气吹尘装置,其特征在于:所述右驱动板架(5)的中部设置有右分流管(503),所述侧吸尘机(501)的输入端与右分流管(503)连通,多个所述斜吸尘头(504)和多个直吸尘头(505)均与右分流管(503)连通。
4.根据权利要求1所述的一种用于半导体封装设备的吹气吹尘装置,其特征在于:所述支撑架(2)上方的中部设置有顶部分流管(301),所述顶部吸尘机(3)的输入端与顶部分流管(301)连通,多个所述顶部吸尘头(302)均与顶部分流管(301)连通。
5.根据权利要求1所述的一种用于半导体封装设备的吹气吹尘装置,其特征在于:多个所述顶部吸尘头(302)的左右两侧设置有照明灯(201),所述照明灯(201)的上端面与支撑架(2)顶端固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种用于半导体封装设备的吹气吹尘装置,其特征在于:所述连接座(6)上端面的中部啮合连接有限位轮(604),所述限位轮(604)的上端面与操作台(603)的下端面固定连接,所述伺服电机(601)的输出端贯穿连接座(6)并延伸至连接座(6)的内部与限位轮(604)的下端面固定连接。
7.根据权利要求1所述的一种用于半导体封装设备的吹气吹尘装置,其特征在于:所述工作台(1)的上端面开设有与伺服电机(601)相匹配的隐藏槽(102),所述工作台(1)下端面的四个拐角处均固定连接有支腿(101)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





