[发明专利]散热封装系统及其制作方法在审
申请号: | 202111565636.7 | 申请日: | 2021-12-20 |
公开(公告)号: | CN114256173A | 公开(公告)日: | 2022-03-29 |
发明(设计)人: | 殷开婷;项昌华 | 申请(专利权)人: | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司;上海先方半导体有限公司 |
主分类号: | H01L23/367 | 分类号: | H01L23/367;H01L23/31;H01L21/50;H01L21/56 |
代理公司: | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人: | 张东梅 |
地址: | 214028 江苏省无锡市新区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 散热 封装 系统 及其 制作方法 | ||
本发明提供了一种散热封装系统及其制作方法,包括:芯片,其在朝向基板的面上具有第一连接件,其中第一连接件与芯片具有导热连接;基板,其在朝向芯片的面上具有第二连接件,其中第二连接件与基板具有导热连接;金属层,其布置在芯片与基板之间,并且其第一面与第一连接件热连接,其与第一面相对的第二面与第二连接件热连接。
技术领域
本发明涉及集成电路技术领域,特别涉及一种散热封装系统及其制作方法。
背景技术
随着IC封装技术的飞速发展,封装尺寸越来越来小,集成度越来越高。基板作为芯片的载体,其散热效果已经成为决定产品稳定性和可靠性的重要因素。WB(wire bonding,打线)产品的散热方式主要包括如下两种:(1)芯片上侧的散热通过在芯片上侧贴装散热片来实现;(2)芯片下侧的散热通过打孔解决来实现,或者靠裸露芯片下侧的大块铜皮来解决。
但传统的打孔的散热方式散热性较差,无法满足WB(wire bonding,打线)芯片到基板的散热要求,而传统的裸露大块铜皮的散热方式,不但散热效果有限,且裸露的大块铜皮上金之后会造成铜皮与焊料之间结合性较差,甚至导致打线芯片下侧分层(铜皮和芯片剥落和/或铜皮和基板剥落)的缺陷,因此WB芯片的可靠性会受到影响。
发明内容
本发明的目的在于提供一种散热封装系统及其制作方法,以解决现有的打线芯片封装结构散热性差且可靠性差的问题。
为解决上述技术问题,本发明提供一种散热封装系统,包括:
芯片,其在朝向基板的面上具有第一连接件,其中第一连接件与芯片具有导热连接;
基板,其在朝向芯片的面上具有第二连接件,其中第二连接件与基板具有导热连接;
金属层,其布置在芯片与基板之间,并且其第一面与第一连接件热连接,其与第一面相对的第二面与第二连接件热连接。
可选的,在所述的散热封装系统中,所述第一连接件和第二连接件包括以下结构的一种或几种:
阵列pad、不规则分布pad、阵列铜柱、不规则分布铜柱、盲孔、通孔和TVS孔;
其中所述阵列pad、不规则分布pad、阵列铜柱、不规则分布铜柱、盲孔、通孔和TVS孔被配置为通过自身或孔内的金属材料在芯片和基板之间导电和/或导热。
可选的,在所述的散热封装系统中,所述阵列pad、不规则分布pad、阵列铜柱和不规则分布铜柱还被配置为执行以下动作:
相互之间作为固定铜金属层的冗余,当其中一个与铜金属层脱落时,其他连接件作为冗余固定铜金属层;以及
第一连接件和第二连接件之间交错分布,以对铜金属层的第一面和第二面施加交错的压力,增加垂直于铜金属层的剪切力。
可选的,在所述的散热封装系统中,所述芯片的第二面和所述第一连接件之间具有焊料或高导电胶,并通过焊接将两者连接;
所述铜金属层和所述第一连接件之间具有焊料或高导电胶,并通过焊接将两者连接;
第一连接件采用阵列式分布铜柱结构,以增加芯片和基板之间的散热效果;
第一连接件采用阵列式分布铜柱结构,以增强芯片和焊料或高导电胶之间的粘结可靠性;
阵列式分布铜柱结构的铜柱均匀布置;铜柱之间填充形式为真空填充或塑封料填充。
可选的,在所述的散热封装系统中,还包括:
第三连接件,被配置为布置在芯片的第一面,所述第三连接件采用阵列式分布铜柱结构,以增加芯片到封装外部的散热效果;
封装层,被配置为覆盖基板的第一面,以容置整个芯片和第三连接件;
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