[发明专利]一种抗辐照封装结构及方法在审
申请号: | 202111164111.2 | 申请日: | 2021-09-30 |
公开(公告)号: | CN113793843A | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 钱靖;任真伟;陈显平;罗厚彩 | 申请(专利权)人: | 重庆平创半导体研究院有限责任公司 |
主分类号: | H01L23/552 | 分类号: | H01L23/552;H01L23/31;H01L21/50;H01L21/56 |
代理公司: | 重庆强大凯创专利代理事务所(普通合伙) 50217 | 代理人: | 赵玉乾 |
地址: | 401120 重庆市璧山区璧泉*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 辐照 封装 结构 方法 | ||
1.一种抗辐照封装结构,其特征在于:包括具有抗辐照功能的内嵌外壳、以及用于对待塑封器件进行塑封的第一塑封件和第二塑封件;
所述内嵌外壳倒扣在第一塑封件的外表面,且内嵌外壳与待塑封器件固定连接;所述第二塑封件包裹着内嵌外壳。
2.根据权利要求1所述的抗辐照封装结构,其特征在于:所述内嵌外壳与第一塑封件之间设有塑料亲和层,所述内嵌外壳和第二塑封件之间也设有塑料亲和层。
3.根据权利要求2所述的一种抗辐照封装结构,其特征在于:所述塑料亲和层的材料为银或者铜。
4.根据权利要求3所述的抗辐照封装结构,其特征在于:所述待塑封器件包括基板、引脚、芯片以及键合线;
所述芯片与基板固定连接,所述芯片与所述引脚之间通过键合线互联;
所述芯片和所述键合线设置于所述第一塑封件内。
5.根据权利要求4所述的抗辐照封装结构,其特征在于:所述内嵌外壳的材料为高序数金属,当所述内嵌外壳的材料为高序数金属时,所述内嵌外壳与所述待塑封器件通过焊膏固定连接,所述焊膏的材料则为绝缘材料。
6.根据权利要求4所述的抗辐照封装结构,其特征在于:所述内嵌外壳的材料为宽紧带半导体。
7.根据权利要求5所述的抗辐照封装结构,其特征在于:塑料亲和层的厚度在150nm到600um范围内。
8.根据权利要求7所述的抗辐照封装结构,其特征在于:所述内嵌外壳的厚度在0.5um-1.5mm范围内。
9.根据权利要求8所述的抗辐照封装结构,其特征在于:所述内嵌外壳分别与基板和引脚通过焊膏固定连接,所述焊膏的焊层厚度在40um-350um范围内。
10.一种抗辐照封装方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤一、将芯片固定连接在基板上;
步骤二、利用键合线,将芯片的电极与引脚进行连接;
步骤三、进行第一次塑封,形成第一塑封件,第一塑封件的塑封区域横向包括但不限于芯片和键合线的尾部,纵向上要高于键合线拱起的最高点;
步骤四、在内嵌外壳的表面生长一层的塑料亲和层,对应的材料为银或者铜;
步骤五、将内嵌外壳倒扣在第一塑封件的外表面上,内嵌外壳的材料为宽紧带半导体或者高序数金属;
步骤六、将内嵌外壳与基板和引脚的接触区域进行固定连接;
步骤七、进行第二次塑封,将内嵌外壳包裹起来,形成第二塑封件,所述第二塑封件的塑封区域横向左侧应不超过基板区域,右侧引脚区域留下足够的电路接触距离,纵向上高于内嵌外壳的上表面;
步骤八、对整体进行降温,使其凝固,最后器件成型。
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