[发明专利]Pin Hole晶圆检查机

权利要求书

1.一种Pin Hole晶圆检查机，其特征在于：其包括：

机架，其具有相互连通设置的校准区和检查区、设置在所述校准区和所述检查区上方的气体净化区、及位于所述校准区和所述检查区下方的安装区；

校准装置，其设置在所述的校准区，且包括边缘式校准器，所述的边缘式校准器包括设置在所述校准区内的校准座、定位单元、及校准单元，其中定位单元包括能够上下升降的定位组件和能够沿着晶圆径向同时收拢或张开的夹持组件，其中所述定位组件形成有自上而下口径逐渐变小的晶圆定位区，所述夹持组件包括绕着所述晶圆定位区的中心分布的多根夹臂、用于驱动多根所述夹臂同步运动的驱动件；

检查装置，其设置在所述的检查区，且包括用于放置晶圆的载台、检查摄像头、用于驱动所述载台相对所述检查摄像头移动的移载单元、及设置在所述载台上方的除静电单元；

晶圆装载装置，其包括分别位于所述机架一侧的供料单元和收料单元，其中所述供料单元的供料口与所述校准区连通，所述收料单元的收料口与所述校准区相连通；

晶圆取放装置，其设置在所述的校准区，且能够将晶圆在所述的供料口、所述收料口、所述边缘式校准器、及所述载台之间转载。

2.根据权利要求1所述的Pin Hole晶圆检查机，其特征在于：所述的校准区截面呈方形，所述的晶圆上料装置和所述晶圆收料装置对应设置在方形的相邻两侧边，所述晶圆取放装置对应设置在所述晶圆装载装置和所述边缘式校准器之间。

3.根据权利要求1所述的Pin Hole晶圆检查机，其特征在于：每根所述夹臂上形成有与晶圆边缘点或线接触的夹槽；校准单元包括能够对晶圆的边缘进行校准的校准组件、以及驱动组件。

4.根据权利要求3所述的Pin Hole晶圆检查机，其特征在于：所述定位组件包括定位平台、设置在所述定位平台上且形成所述晶圆定位区的多个定位支撑座，其中多个所述定位支撑座绕着定位平台的中心均匀分布，且每一个所述定位支撑座上形成有第一支撑面和第二支撑面，所述的第一支撑面自所述定位支撑座的上端面自上而下向外倾斜设置，所述第二支撑面自所述第一支撑面的底部向外延伸。

5.根据权利要求1所述的Pin Hole晶圆检查机，其特征在于：所述晶圆取放装置包括取放臂、取放夹头、及驱动所述取放臂运动的动力取放器，其中所述的取放臂有两组，每组所述取放臂一端部对应设有一个所述取放夹头，所述的动力取放器分别驱动两组所述取放臂工作或复位；每个所述取放夹头包括固定夹臂和活动夹臂，所述的活动夹臂相对所述固定夹臂运动，放置在所述固定夹臂的晶圆随着所述活动夹臂的运动，自侧边夹持在所述活动夹臂与所述固定夹臂之间。

6.根据权利要求5所述的Pin Hole晶圆检查机，其特征在于：分别位于两组所述取放臂一端部上的所述取放夹头上下隔开设置，且一组所述取放臂驱动其一端的所述取放夹头工作并复位后，另一组所述取放臂驱动其一端的所述取放夹头工作并复位。

7.根据权利要求1所述的Pin Hole晶圆检查机，其特征在于：所述的载台包括设置在所述检查区内并具有晶圆夹持区的夹座、设置在所述夹座上并绕所述晶圆夹持区的中心分布的多个定位块、及设置在所述夹座一侧并用于夹紧晶圆的多个压块。

8.根据权利要求7所述的Pin Hole晶圆检查机，其特征在于：所述移载单元包括用于驱动所述载台横向运动的横移部件、用于驱动所述载台纵向运动的纵移部件、以及用于驱动所述载台上下运动的升降部件。

9.根据权利要求1所述的Pin Hole晶圆检查机，其特征在于：所述供料单元和所述收料单元结构相同，其中所述供料单元包括位于所述供料口下方的安装平台、设置在所述安装平台上的承载平台、设置在所述供料口并上下活动的活动门、设置在所述活动门上且用于打开晶圆传送盒的盒盖的开锁件。

10.根据权利要求1所述的Pin Hole晶圆检查机，其特征在于：所述检查装置还包括设置在所述检查区的复检摄像头。