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- [实用新型]一种晶圆翻转机构-CN202222849281.0有效
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颜博
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苏州新尚思自动化设备有限公司
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2022-10-27
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2023-03-14
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H01L21/687
- 本实用新型涉及一种晶圆翻转机构，其包括第一夹臂、第二夹臂、第一驱动组件、第二驱动组件，第一夹臂与第二夹臂相对设置，第一夹臂和第二夹臂上均设置有夹紧部件，第一夹臂的夹紧部件和第二夹臂的夹紧部件之间形成晶圆放置空间；第一驱动组件与第一夹臂、第二夹臂均连接用于驱动第一夹臂、第二夹臂向靠近或远离对方方向移动；第二驱动组件与第一驱动组件通过转轴连接，第二驱动组件通过转轴驱动第一驱动组件、第一夹臂、第二夹臂转动。本实用新型提供的机构，第二驱动组件通过转轴驱动第一夹臂、第二夹臂转动，实现晶圆自动翻转，以对晶圆两个面缺陷检测，且不会损伤晶圆；通过夹紧部件夹紧晶圆，将晶圆与第一夹臂和第二夹臂隔开，降低摩擦。
- 一种翻转机构
- [实用新型]一种晶圆目检机的手动检测装置-CN202222849251.X有效
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颜博
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苏州新尚思自动化设备有限公司
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2022-10-27
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2023-02-14
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H01L21/66
- 本实用新型涉及晶圆目检机的手动检测装置，其包括目检台、设置在目检台上的载架、位于载架上方的强光灯，载架具有多个支撑端部，其中多个支撑端部之间形成与晶圆外径相匹配的定位区，且载架绕着定位区的中心线转动设置；手动检测装置还包括夹持部件和驱动部件，夹持部件自由架设在目检台上，并具有绕着定位区的中心线分布的多个夹紧轮、手持部。本实用新型一方面通过设置夹持部件供操作人员手持并送至强光灯下方检测，能够灵活调整光线在晶圆表面的任意照射角度，以便于实施全面观察和检测；另一方面通过载架的转动配合以调整夹持部件在晶圆上的夹持位置，有效消除检测障碍，且不会造成晶圆脱落。
- 一种晶圆目检机手动检测装置
- [实用新型]浮动式阴、阳极传动轴-CN202220238441.5有效
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李甲伟;王殿元;付玉柱;张昊昊;颜博;慕富安;魏仲锋
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华能陇东能源有限责任公司
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2022-01-28
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2023-01-17
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F16C3/02
- 浮动式阴、阳极传动轴。目前电除尘器轴间采用固接结构，通过增加轴在轴承的运转空间来适应轴的径向跳动，造成轴在运转过程中产生摩擦力增大、卡涩、直接烧毁减速机的问题。本实用新型的组成包括：一组多段传动轴(1)，一组多段传动轴上分别安装有可移轴承结构(2)、限位轴承结构(3)，多段传动轴轴端与拨盘(4)焊接，拨盘通过销轴(6)和拨销盘(5)连接，可移轴承结构、限位轴承结构包括上壳体(10)，上壳体通过螺栓与下壳体(11)连接，上壳体与下壳体内部安装有轴承体(9)，轴承体内安装轴瓦(7)，轴瓦两侧分别通过挡块(8)、螺栓固定连接。本实用新型用于浮动式阴、阳极传动轴。
- 浮动阳极传动轴
- [实用新型]一种晶圆表面毛刺的清洁装置-CN202221532032.2有效
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颜博
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苏州新尚思自动化设备有限公司
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2022-06-17
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2022-11-29
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H01L21/67
- 本实用新型涉及晶圆表面毛刺的清洁装置，其包括定位平台、刮刀，晶圆水平定位在定位平台上，刮刀上形成有刀口，且刀口抵触在晶圆的表面，清洁装置还包括调节单元和驱动单元，其中调节单元包括第一调节部件和第二调节部件，第一调节部件驱动刮刀沿着水平方向移动；第二调节部件驱动刮刀绕着水平方向翻转运动，刀口与晶圆表面之间的夹角随之同步变化；驱动单元驱动刮刀绕着定位平台的周向运动，或/和，驱动单元驱动定位平台绕着竖直方向转动。本实用新型便于调节刮刀的刀口在晶圆表面上的位置和调节刮刀的刀口与晶圆表面的夹角，能够消除清洁死角，同时能够根据晶圆表面调节刮刀的洁净精度，有效提高清洁效果，且避免晶圆损坏。
- 一种表面毛刺清洁装置
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