[发明专利]一种氧化锌单晶材料、其制备方法及应用在审

专利信息
申请号: 202110653701.5 申请日: 2021-06-11
公开(公告)号: CN113481601A 公开(公告)日: 2021-10-08
发明(设计)人: 陈晨龙;熊庭辉;王俪霖;孙姝婧 申请(专利权)人: 中国科学院福建物质结构研究所;闽都创新实验室
主分类号: C30B29/16 分类号: C30B29/16;C30B29/60;C30B25/18
代理公司: 北京元周律知识产权代理有限公司 11540 代理人: 杨晓云
地址: 350002 福建*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 氧化锌 材料 制备 方法 应用
【权利要求书】:

1.一种氧化锌单晶材料,其特征在于,所述氧化锌单晶材料具有交联网状结构,所述交联网状结构的交联部分为单晶结构。

2.根据权利要求1所述的氧化锌单晶材料,其特征在于,所述交联网状结构由片状纳米帆状结构互相交联形成;

优选地,所述氧化锌单晶材料晶面为氧化锌的晶面。

3.根据权利要求2所述的氧化锌单晶材料,其特征在于,所述片状纳米帆状结构长度为500~5000nm,宽度为10~600nm。

4.权利要求1~3任一项所述的氧化锌单晶材料的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:

将含有锌源、还原剂的原料在催化剂存在下,通过气相沉积在衬底上生长,获得所述氧化锌单晶材料;

所述衬底的晶体结构与非极性a平面ZnO晶格匹配;

所述催化剂包括金属;

所述催化剂在所述衬底表面形成催化层;

所述催化层的厚度为1~25nm。

5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述气相沉积过程通入O2

6.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:在气氛I和压力I条件下,将含有锌源、还原剂的原料在催化剂存在下,通过气相沉积在衬底上生长,获得所述氧化锌单晶材料;

所述气相沉积包括升温,恒温;

优选地,所述恒温过程通入O2;所述气氛I与所述O2的体积比为40~50:1~10。

7.根据权利要求4或6所述的制备方法,其特征在于,所述锌源包括ZnO;

所述还原剂包括石墨;

优选地,所述衬底为r面蓝宝石衬底;

优选地,所述金属包括Au。

8.根据权利要求4或6所述的制备方法,其特征在于,所述锌源和所述还原剂的质量比为0.1~10:0.1~10。

9.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述升温的速率为10~40℃/min;

优选地,所述恒温的温度为500~1200℃;

优选地,所述恒温的时间为3~45min;

优选地,所述气氛I为惰性气体;

优选地,所述压力I为30~100Torr。

10.权利要求1~3任一项所述氧化锌单晶材料,或根据权利要求4~9任一项所述的制备方法制备得到的氧化锌单晶材料作为PEC光阳极的应用。

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