[发明专利]机械手及半导体加工设备

权利要求书

1.一种机械手，其特征在于，包括支撑臂(100)和吸附件(200)，所述支撑臂(100)与所述吸附件(200)固定相连，所述吸附件(200)开设有负压吸附孔，所述吸附件(200)的外侧边缘开设有圆弧形豁口(211)，所述圆弧形豁口(211)与所述支撑臂(100)分别位于所述吸附件(200)相背的两侧。

2.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，所述圆弧形豁口(211)的圆心与所述吸附件(200)的圆心重合，所述圆弧形豁口(211)的圆心角大于或等于60°，且小于或等于120°。

3.根据权利要求2所述的机械手，其特征在于，所述圆弧形豁口(211)沿所述吸附件(200)的径向的中心线为第一中心线，所述支撑臂(100)沿所述吸附件(200)的径向的中心线为第二中心线，所述第一中心线与所述第二中心线共线且均穿过所述吸附件(200)的中心。

4.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，所述吸附件(200)包括内环吸附区域(220)和外环吸附区域(210)，所述内环吸附区域(220)与所述外环吸附区域(210)同轴设置，且所述内环吸附区域(220)位于所述外环吸附区域(210)之内，所述圆弧形豁口(211)开设于所述外环吸附区域(210)背向所述内环吸附区域(220)的边缘上，所述负压吸附孔开设在所述内环吸附区域(220)和所述外环吸附区域(210)的至少一者上，所述内环吸附区域(220)内凹于所述外环吸附区域(210)。

5.根据权利要求4所述的机械手，其特征在于，所述负压吸附孔包括多个第一吸附孔(212)和多个第二吸附孔(221)，所述多个第一吸附孔(212)间隔设置在所述外环吸附区域(210)，所述多个第二吸附孔(221)间隔设置在所述内环吸附区域(220)。

6.根据权利要求5所述的机械手，其特征在于，所述多个第二吸附孔(221)包括一个条形孔和多个圆孔，所述条形孔设于所述圆弧形豁口(211)的内侧，所述多个圆孔沿所述内环吸附区域(220)的圆周方向间隔分布。

7.根据权利要求5所述的机械手，其特征在于，所述多个第一吸附孔(212)包括第一组第一吸附孔(212)和第二组第一吸附孔(212)，所述第一组第一吸附孔(212)与所述第二组第一吸附孔(212)，以经过所述圆弧形豁口(211)的中心和所述吸附件(200)的圆心的连线对称设置。

8.根据权利要求7所述的机械手，其特征在于，所述第一组第一吸附孔(212)呈预设形状分布，所述第一组第一吸附孔(212)距所述吸附件(200)的圆心的距离不全相等。

9.根据权利要求8所述的机械手，其特征在于，所述预设形状为W形、V形或S形。

10.根据权利要求7所述的机械手，其特征在于，所述第一组第一吸附孔(212)和所述第二组第一吸附孔(212)均距所述圆弧形豁口(211)的距离为第一距离，所述第一组第一吸附孔(212)和所述第二组第一吸附孔(212)均距所述支撑臂(100)的距离为第二距离，所述第一距离小于第二距离。

11.根据权利要求4所述的机械手，其特征在于，所述圆弧形豁口(211)在所述吸附件(200)的径向上尺寸为第一尺寸，所述外环吸附区域(210)在所述吸附件(200)的径向上尺寸为第二尺寸，所述第一尺寸小于第二尺寸。