[发明专利]集成电路及其形成方法在审

专利信息
申请号: 202110481319.0 申请日: 2021-04-30
公开(公告)号: CN113594159A 公开(公告)日: 2021-11-02
发明(设计)人: 邱德馨;林威呈;赖韦安;曾健庭 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L27/092 分类号: H01L27/092;H01L21/8238
代理公司: 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人: 章社杲;李伟
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 集成电路 及其 形成 方法
【权利要求书】:

1.一种集成电路。包括:

电源轨组。位于衬底的背侧,并且在第一方向上延伸,每个电源轨在与所述第一方向不同的第二方向上与相邻的电源轨分离;

第一触发器,包括:

第一导电结构组,在所述第一方向上延伸并位于第一金属层上;

第二触发器,在第一边界处与所述第一触发器邻接,所述第二触发器包括:

第二导电结构组,在所述第一方向上延伸并位于所述第一金属层上,所述第二导电结构组在所述第二方向上与所述第一导电结构组分离;以及

第三触发器,在第二边界处与所述第二触发器邻接,所述第三触发器包括:

第三导电结构组,在所述第一方向上延伸并位于所述第一金属层上,并且在所述第二方向上与所述第一导电结构组和所述第二导电结构组分离;

其中,所述第一触发器,所述第二触发器和所述第三触发器在与所述衬底的所述背侧相反的前侧上;以及

其中,所述第二导电结构组在所述第二方向上偏离所述第一边界和所述第二边界。

2.根据权利要求1所述的集成电路,其中,

所述第一触发器还包括:

第一反相器,具有第一输入引脚,所述第一导电结构组中的至少第一导电结构对应于所述第一反相器的所述第一输入引脚;

所述第二触发器还包括:

第二反相器,具有第二输入引脚,所述第二导电结构组中的至少第二导电结构对应于所述第二反相器的所述第二输入引脚;和

所述第三触发器还包括:

第三反相器,具有第三输入引脚,所述第三导电结构组中的至少第三导电结构对应于所述第三反相器的所述第三输入引脚。

3.根据权利要求2所述的集成电路,还包括:

第四导电结构,在所述第一金属层上方的第二金属层上,在所述第二方向上延伸,与所述第一边界和所述第二边界重叠,并将所述第一输入引脚,所述第二输入引脚和所述第三输入引脚电耦接在一起,所述第四导电结构被配置为接收第一时钟信号。

4.根据权利要求2所述的集成电路,其中,

所述第一触发器还包括:

第四反相器,具有第一输出引脚,所述第一导电结构组中的至少第四导电结构对应于所述第四反相器的所述第一输出引脚;

所述第二触发器还包括:

第五反相器,具有第二输出引脚,所述第二导电结构组中的至少第五导电结构对应于所述第五反相器的所述第二输出引脚;以及

所述第三触发器还包括:

第六反相器,具有第三输出引脚,所述第三导电结构组中的至少第六导电结构对应于所述第六反相器的所述第三输出引脚。

5.根据权利要求4所述的集成电路,还包括:

第七导电结构,在所述第一金属层上方的第二金属层上,在所述第二方向上延伸,与所述第一边界和所述第二边界重叠,并且将所述第一输出引脚,所述第二输出引脚和所述第三输出引脚电耦接在一起,所述第四反相器,所述第五反相器和所述第六反相器中的每个配置为在所述第七导电结构上输出时钟信号。

6.根据权利要求5所述的集成电路,其中

所述第一反相器耦接到所述第四反相器,

所述第二反相器耦接到所述第五反相器,以及

所述第三反相器耦接到所述第六反相器。

7.根据权利要求1所述的集成电路,其中,

所述第一导电结构组在所述第二方向上偏离所述第一边界,并且

所述第三导电结构组在所述第二方向上偏离所述第二边界。

8.根据权利要求1所述的集成电路,其中

第一触发器还包括:

第四组导电结构,沿所述第二方向延伸,与所述第一导电结构组重叠,并且位于与所述第一金属层不同的第二金属层上;

第二触发器还包括:

第五组导电结构,沿所述第二方向延伸,与所述第二导电结构组重叠,并且位于所述第二金属层上;和

第三触发器还包括:

第六组导电结构,沿所述第二方向延伸,与所述第三导电结构组重叠,并且位于所述第二金属层上。

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