[发明专利]半导体加工设备的物料调度方法和装置

权利要求书

1.一种半导体加工设备的物料调度方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、建立物料列表，所述物料列表包括多个不同的工艺配方对应的物料组，每个所述物料组包括多个物料，多个所述物料被划分成多个物料分组，每个所述物料分组包括至少一个所述物料；

S2、根据所述工艺配方和所述物料列表建立第一调度任务列表，所述第一调度任务列表包括多个物料调度任务组，所述物料组与所述物料调度任务组一一对应，每个所述物料调度任务组包括多个物料调度任务分组，所述物料分组与所述物料调度任务分组一一对应；每个所述物料调度任务分组包括至少一个物料调度任务；

S3、向求解器输入所述第一调度任务列表，利用所述求解器计算并输出执行所述第一调度任务列表中所有的所述物料调度任务花费时长最短的最优调度结果，并对所述最优调度结果解析获得所有物料的移动序列；

所述步骤S3，包括：

S31、按第一预设规则从所述第一调度任务列表中选取指定数量的所述物料调度任务分组，组成第二调度任务列表；

S32、从所述第一调度任务列表中删除已选取的所述物料调度任务分组；

S33、向所述求解器输入所述第二调度任务列表，利用所述求解器计算并输出所述第二调度任务列表中所有的所述物料调度任务花费时长最短的子最优调度结果，并对所述子最优调度结果解析获得所述第二调度任务列表中所有物料的子移动序列；

S34、将所述子最优调度结果中最早完成的物料调度任务分组对应的结束时间点设定为补料时间点，并从所述子移动序列中筛选出在所述补料时间点以前的部分作为输出序列，且存储该输出序列；

S35、判断所述第一调度任务列表中是否还有所述物料调度任务分组，若有，则执行所述步骤S36；若没有，则执行所述步骤S38；

S36、从所述第二调度任务列表中删除所述最早完成的物料调度任务分组；

S37、按第二预设规则，重新选取一所述物料调度任务分组，并将重新选取的所述物料调度任务分组插入所述第二调度任务列表，然后返回所述步骤S32；

S38、将当前的所述子移动序列和之前存储所有的所述输出序列拼接成所述移动序列。

2.根据权利要求1所述的物料调度方法，其特征在于，所述第一预设规则包括：

从各个所述物料调度任务组中选取数量相同的所述物料调度任务分组；

其中，从各个所述物料调度任务组中选取的所述物料调度任务分组的数量等于所述指定数量与所述工艺配方的数量的比值。

3.根据权利要求2所述的物料调度方法，其特征在于，所述第二预设规则包括：

从所述第一调度任务列表中所述最早完成的物料调度任务分组对应的物料调度任务组中选取一物料调度任务分组，将该物料调度任务分组插入在所述第二调度任务列表中与所述最早完成的物料调度任务分组属于同一物料调度任务组的物料调度任务分组的最后；

若所述第一调度任务列表中所述最早完成的物料调度任务分组对应的物料调度任务组中已没有物料调度任务分组，则从所述第二物料列表中其他物料调度任务分组对应的物料调度任务组中选取一物料调度任务分组，将该物料调度任务分组插入在所述第二物料列表中与之属于同一物料调度任务组的物料调度任务分组的最后。

4.根据权利要求1所述的物料调度方法，其特征在于，每个所述物料调度任务分组中的多个所述物料调度任务包括加工物料的加工任务和传输物料的传输任务；

在所述步骤S34中，在所述子最优调度结果中，对于所述最早完成的物料调度任务分组，在其结束时间点，若其他的物料调度任务分组中有未完成的所述传输任务，则将完成所有的所述传输任务的结束时间点设定为所述补料时间点；

若其他的物料调度任务分组中没有未完成的所述传输任务，则将所述最早完成的物料调度任务分组的结束时间点设定为所述补料时间点。

5.根据权利要求1所述的物料调度方法，其特征在于，所述物料调度方法还包括：

累计各个工艺腔室执行同一物料调度任务组中各所述物料调度任务分组中为加工任务的物料调度任务的次数；

判断各个所述工艺腔室的所述次数是否达到该物料调度任务组对应的工艺配方中预设的最大次数；

若达到，则在该物料调度任务组中的对应位置处插入为腔室清洗任务的物料调度任务。