[发明专利]晶圆加工移动控制装置及晶圆加工移动控制方法

权利要求书

1.一种晶圆加工移动控制装置，其特征在于，包括：控制服务模块、机械手、驱动组件、视觉检测模块和至少一加工仓；

所述控制服务模块分别与驱动组件和视觉检测模块通信连接；

所述至少一加工仓用于对晶圆进行加工处理，所述至少一加工仓包括：目标加工仓；

所述驱动组件用于驱动所述机械手移动；

所述机械手用于带动晶圆移动至所述目标加工仓内，并在所述目标加工仓内完成晶圆的抓取和卸载；

所述视觉检测模块用于获取所述机械手与所述目标加工仓的第一位置关系信息；

所述控制服务模块用于根据所述第一位置关系信息，控制所述驱动组件的工作状态；

所述控制服务模块还用于在晶圆进入所述目标加工仓内前，通过所述视觉检测模块对所述目标加工仓和所述机械手相对位置进行校准判断。

2.根据权利要求1所述的晶圆加工移动控制装置，其特征在于，所述机械手设置有第一感应标识件，至少一加工仓设置有第二感应标识件；

所述驱动组件包括：第一导轨、第二导轨和驱动件；

所述第二导轨沿第一方向与所述第二导轨滑移连接，所述机械手沿第二方向与所述第二导轨滑移连接，所述第一方向与所述第二方向相交，所述至少一加工仓位于所述第一导轨朝向第二方向的一侧；

所述控制服务模块用于根据所述第一位置关系信息，确定驱动件的驱动方向；

所述驱动件用于根据所述驱动方向驱动所述第二导轨带动所述机械手沿所述第一导轨移动；

所述控制服务模块还用于在所述第一感应标识件与目标加工仓中的第二感应标识件发生感应时，控制所述驱动件停止驱动第二导轨移动。

3.根据权利要求2所述的晶圆加工移动控制装置，其特征在于，所述视觉检测模块还用于在所述第一感应标识件与目标加工仓中的第二感应标识件发生感应后，根据所述第一感应标识件和目标加工仓中的第二感应标识件的相对位置关系，获取所述机械手与所述目标加工仓的第二位置关系信息；

所述控制服务模块用于根据所述第二位置关系信息，判断是否需要对机械手在所述第一方向的位置进行调整。

4.根据权利要求3所述的晶圆加工移动控制装置，其特征在于，所述晶圆加工移动控制装置还包括：查阅表模块；

所述查阅表模块与所述控制服务模块通信连接；

所述控制服务模块还用于在需要对机械手在第一方向的位置进行调整时，根据所述第二位置关系信息，确定驱动数据，并将所述驱动数据记录在所述查阅表模块内；

所述驱动组件还用于从所述查阅表模块上获取所述驱动数据，并根据所述驱动数据驱动所述第二导轨带动所述机械手移动指定距离，且在所述第二导轨带动所述机械手移动指定距离后，驱动所述机械手沿所述第二方向移动至目标加工仓内，以完成晶圆的抓取或卸载。

5.根据权利要求2所述的晶圆加工移动控制装置，其特征在于，所述控制服务模块还用于在需要对机械手在第一方向的位置进行调整时，根据所述第二位置关系信息，判断所述机械手在第一方向的位置是否超出所述目标加工仓允许的位置范围，并在所述机械手在第一方向的位置超出所述目标加工仓允许的位置范围时，停止所述晶圆加工移动控制装置工作。

6.一种晶圆加工移动控制方法，其特征在于，包括：

提供视觉检测模块、机械手和至少一加工仓，所述至少一加工仓包括：目标加工仓；

通过视觉检测模块，获取机械手与目标加工仓的第一位置关系信息；

根据所述第一位置关系信息，控制所述驱动组件驱动所述机械手移动，以使机械手带动晶圆移动至所述目标加工仓内，并在所述目标加工仓内完成晶圆的抓取或卸载，以使目标加工仓对晶圆进行相应的加工处理；

其中，所述方法还包括：在机械手带动晶圆移动至所述目标加工仓内前，通过所述视觉检测模块对所述目标加工仓和所述机械手相对位置进行校准判断。