[发明专利]机器人手、机器人以及固定装置

说明书

一种机器人手，用于保持基板，其特征在于，具备：基体；托板，规定有用于保持所述基板的保持位置，其基部安装于所述基体；以及差动螺纹，其中心轴与存在于所述保持位置的所述基板的主表面正交，用于将所述托板的基部安装于所述基体，所述差动螺纹具有：第一螺纹部，其螺距是第一螺距；第二螺纹部，其螺距是与所述第一螺距不同的第二螺距；以及介入部件，同轴状地具有与所述第一螺纹部螺合的第三螺纹部及与所述第二螺纹部螺合的第四螺纹部，所述第一螺纹部设置于所述基体，且所述第二螺纹部设置于所述托板的基部。

技术领域

本发明涉及机器人手、机器人以及固定装置。

背景技术

已知用于保持基板的机器人手。例如，在专利文献1的晶片移送装置中提出了这样的机器人手。专利文献1的晶片移送装置与收容多张晶片的盒以及用于检查晶片的检查装置邻接地配置。晶片移送装置具备：多个Y字状或U字状的晶片支承部件；与晶片支承部件各自的基端连结并支承晶片支承部件的第一及第二支承台；以及与第一及第二支承台连结并使晶片支承部件在直线方向上移动的移动装置。

还已知用于固定差动螺纹的固定装置。例如，在专利文献2的夹紧装置中提出了这样的固定机构。在专利文献2中记载有差动螺纹通过卡合于调整棘爪而不与夹头(collet)接触。而且，记载有由此能够使夹头治具与夹头的磨损为最小限度。另外，记载有差动螺纹以能够更换的方式配置在夹头治具内。

专利文献1：日本特开2008-141158号公报

专利文献2：日本特表2014-530118号公报

但是，对于专利文献1及用于保持基板的其他现有的机器人手而言，存在难以对规定用于保持基板的保持位置的托板的倾斜度进行调整的问题。

另外，对于专利文献2及用于固定差动螺纹的其他现有的固定装置而言，在固定差动螺纹时，存在导致差动螺纹移动的情况。由此，上述现有的固定装置存在不能够精确地固定差动螺纹的问题。

发明内容

因此，本发明的目的在于，提供能够容易地对规定有用于保持基板的保持位置的托板的倾斜度进行调整的机器人手及具备其的机器人。

另外，本发明的目的在于提供能够精确地固定差动螺纹的固定装置。

为了解决上述课题，本发明所涉及的机器人手是用于保持基板的机器人手，其特征在于，具备：基体；托板，规定有用于保持上述基板的保持位置，并且其基部安装于上述基体；以及差动螺纹，其中心轴与存在于上述保持位置的上述基板的主表面正交，用于将上述托板的基部安装于上述基体，上述差动螺纹具有：第一螺纹部，其螺距是第一螺距；第二螺纹部，其螺距是与上述第一螺距不同的第二螺距；以及介入部件，同轴状地具有与上述第一螺纹部螺合的第三螺纹部及与上述第二螺纹部螺合的第四螺纹部，上述第一螺纹部设置于上述基体，且上述第二螺纹部设置于上述托板的基部。

根据上述结构，本发明所涉及的机器人手能够使托板的基部中的设置有第二螺纹部的部分，移动第一螺纹部的第一螺距与介入部件的转速之积即第一距离、与第二螺纹部的第二螺距与介入部件的转速之积即第二距离之差，因此能够容易地对规定有用于保持基板的保持位置的托板的倾斜度进行调整。