[发明专利]一种功率模块及其制作方法在审
申请号: | 202011465254.2 | 申请日: | 2020-12-14 |
公开(公告)号: | CN114628376A | 公开(公告)日: | 2022-06-14 |
发明(设计)人: | 秦光远;方超;常桂钦;罗海辉;彭勇殿 | 申请(专利权)人: | 株洲中车时代半导体有限公司 |
主分类号: | H01L25/07 | 分类号: | H01L25/07;H01L23/498;H01L21/48;H01L21/50 |
代理公司: | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人: | 刘文博 |
地址: | 412001 湖南省株洲市石峰*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 功率 模块 及其 制作方法 | ||
1.一种功率模块,其特征是,包括基板(10)、设置在基板(10)上的衬板(20)、设置在衬板(20)上的芯片(30)及设置在基板(10)上的封装壳体(50),所述衬板(20)包括陶瓷层(22)及设置在陶瓷层(22)上的上覆金属层(21)、下覆金属层(23);还包括母排端子(40),所述母排端子(40)与上覆金属层(21)一体成型,所述母排端子(40)背离上覆金属层(21)的一端延伸至封装壳体(50)外。
2.如权利要求1所述的功率模块,其特征是,所述基板(10)背离衬板(20)的一面上设置有多个翅片。
3.如权利要求1所述的功率模块,其特征是,所述母排端子(40)、上覆金属层(21)及下覆金属层(23)的厚度为0.1~2mm。
4.如权利要求1所述的功率模块,其特征是,所述母排端子(40)、上覆金属层(21)及下覆金属层(23)的材质选自于包括铜、铜钼合金、铝碳化硅在内的任意一种。
5.一种功率模块,其特征是,包括封装壳体(50)、散热体(60)、设置在散热体(60)上的衬板(20)及设置在衬板(20)上的芯片(30),所述衬板(20)包括陶瓷层(22)及设置在陶瓷层(22)上的上覆金属层(21)、下覆金属层(23);所述衬板(20)和散热体(60)均设置有两组,每组衬板(20)中的上覆金属层(21)均一体成型有母排端子(40),两组衬板(20)中的下覆金属层(23)分别与两组散热体(60)接触,所述芯片(30)设置在两组衬板(20)之间,所述母排端子(40)背离上覆金属层(21)的一端延伸至封装壳体(50)外。
6.如权利要求5所述的功率模块,其特征是,所述散热体(60)的内部设置有流道,所述流道与外部的冷却液循环系统连接。
7.如权利要求5或6所述的功率模块,其特征是,所述散热体(60)的材质选自铝或铝合金。
8.一种如权利要求1-4任一项所述的功率模块的制作方法,其特征是,该方法包括以下步骤:
S1、通过冲压使母排端子(40)与上覆金属层(21)一体成型;
S2、将母排端子(40)折弯并对母排端子(40)做硬化处理;
S3、将上覆金属层(21)和下覆金属层(23)通过直接覆铜法或钎焊法连接在陶瓷层(22)的上表面和下表面;
S4、通过焊接或烧结将芯片(30)连接在衬板(20)上;
S5、通过引线键合使芯片(30)与上覆金属层(21)电性连接;
S6、通过焊接或烧结将衬板(20)连接在基板(10)上;
S7、将封装壳体(50)安装在基板(10)上,使衬板(20)与芯片(30)位于封装壳体(50)内,母排端子(40)背离上覆金属层(21)的一端延伸至封装壳体(50)外;
S8、在封装壳体(50)的内部填充绝缘胶,以实现功率模块内部的密封和电气绝缘保护。
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