[发明专利]多层3D箔封装在审
申请号: | 202011435323.5 | 申请日: | 2020-12-10 |
公开(公告)号: | CN112951796A | 公开(公告)日: | 2021-06-11 |
发明(设计)人: | 克里斯托夫·兰德斯伯格;雅温·雅库布-乔治;马丁·柯尼 | 申请(专利权)人: | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L25/00;H01L21/50 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 潘剑颖 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多层 封装 | ||
1.一种多层3D箔封装(100),包括:
箔衬底堆叠(150),具有至少两个箔平面(E1、E2),其中第一电绝缘箔衬底(110)被布置在第一箔平面(E1)中,且其中第二电绝缘箔衬底(120)被布置在第二箔平面(E2)中,
其中所述第一箔衬底(110)包括第一主表面区域(111),至少一个功能电子组件(113)被布置在所述第一主表面区域(111)上,
其中所述第二箔衬底(120)包括第一主表面区域(121)和相对布置的第二主表面区域(122),其中至少一个功能电子组件(123)被布置在所述第一主表面区域(121)上,以及其中所述第二箔衬底(120)包括腔(124),所述腔(124)在所述第二主表面区域(122)中具有至少一个开口,
其中所述箔衬底(110、120)一个在另一个之上地布置在所述箔衬底堆叠(150)内,使得所述第一箔衬底(110)的第一主表面区域(111)与所述第二箔衬底(120)的第二主表面区域(122)相对,并且布置在所述第一箔衬底(110)上的所述功能电子组件(113)布置在设置于所述第二箔衬底(120)中的所述腔(124)内。
2.根据权利要求1所述的多层3D箔封装(100),
其中布置在所述第一箔衬底(110)的第一主表面区域(111)上的所述功能电子组件(113)包括具有形貌突出部(H113)的部分,所述形貌突出部(H113)在形貌上突出超过所述第一箔衬底(110)的第一主表面区域(111),以及
其中设置在所述第二箔衬底(120)中的所述腔(124)的体积大于布置在所述第一箔衬底(110)上的所述功能电子组件(113)的在形貌上突出超过所述第一箔衬底(110)的第一主表面区域(111)的部分的体积。
3.根据权利要求1所述的多层3D箔封装(100),
其中在所述功能电子组件(113)和所述腔(124)之间存在聚合物(502),所述聚合物(502)至少部分地填充所述功能电子组件(113)的外轮廓和所述腔(124)的与所述外轮廓相对的壁(124a、124b)之间的空隙(501)。
4.根据权利要求1所述的多层3D箔封装(100),
其中设置在所述第二箔衬底(120)的第二主表面区域(122)中的腔(124)与布置在所述第二箔衬底(120)的第一主表面区域(121)上的所述功能电子组件(123)相对地布置,或
其中形成在所述第二箔衬底(120)的第二主表面区域(122)中的所述腔(124)包括相对于布置在所述第二箔衬底(120)的第一主表面区域(121)上的所述功能电子组件(123)的横向偏移(Vlat_1),
其中所述横向偏移(Vlat_1)至少与在相同方向上测量的布置在所述第二箔衬底(120)上的所述功能电子组件(123)的横向延伸一样大。
5.根据权利要求1所述的多层3D箔封装(100),
其中所述第二箔衬底(120)包括一个在另一个之上布置的至少两个箔衬底层(120a、120b),其中所述两个箔衬底层中的一个箔衬底层(120b)包括连续的窗开口(125),且其中两个箔衬底层(120a、120b)中的另一箔衬底层包括凹部(126),
其中当所述两个箔衬底层(120)被布置为一个在另一个之上时,所述一个箔衬底层(120b)中的所述窗开口(125)与相应的另一箔衬底层(120a)中的所述凹部(126)一起形成所述第二箔衬底(120)中的所述腔(124)。
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