[发明专利]增强2D过渡金属硫族化合物光致发光的方法及其应用有效

专利信息
申请号: 202011074091.5 申请日: 2020-10-09
公开(公告)号: CN114318289B 公开(公告)日: 2023-07-14
发明(设计)人: 胡章贵;王晨鑫;邱海龙;吴以成 申请(专利权)人: 天津理工大学
主分类号: C23C16/30 分类号: C23C16/30;C23C16/56;C23C14/10;C23C14/24;C23C28/00;C09K11/02;C09K11/68
代理公司: 天津创智睿诚知识产权代理有限公司 12251 代理人: 王海滨
地址: 300384 *** 国省代码: 天津;12
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 增强 过渡 金属 化合物 光致发光 方法 及其 应用
【权利要求书】:

1.一种增强2D 过渡金属硫族化合物光致发光的方法,其特征在于,包括以下步骤:

1)准备第一衬底和第二衬底,第一衬底和第二衬底均为SiO2/Si衬底,清洗第一衬底,在所述第一衬底上生长单分子层二硫化钨,得到二硫化钨/SiO2/Si衬底;在所述第二衬底上蒸镀厚度为280~300nm的金层,再在所述金层上蒸镀2~25nm厚的SiO2层,得到SiO2/Au/SiO2/Si衬底;

2)在面积份数为0.25~1的二硫化钨/SiO2/Si衬底的单分子层二硫化钨上滴加200~500体积份数的聚甲基丙烯酸甲酯,采用匀胶台于2000~5000转/分钟匀胶5~8min,再置于50~90℃的加热台上加热3~15min,再浸入KOH水溶液0.3~0.5小时,以使负载有PMMA的单分子层二硫化钨脱落,将负载有PMMA的单分子层二硫化钨放入水中,采用SiO2/Au/SiO2/Si衬底将所述负载有PMMA的单分子层二硫化钨从水中托出,干燥3~6小时,去除PMMA,其中,SiO2/Au/SiO2/Si衬底的SiO2层一面用于与所述单分子层二硫化钨接触,所述面积份数的单位为cm2

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述步骤1)中,清洗第一衬底的方法为:将第一衬底在丙酮中超声6~9min,再置于无水乙醇中超声7~12min,最后置于去离子水中超声5~10min,于40~80℃干燥10~50min。

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述步骤1)中,所述SiO2/Si衬底为镀有SiO2层的Si片,SiO2层的厚度为270~290nm;

单分子层二硫化钨位于第一衬底的SiO2层一面,金层位于第二衬底的SiO2层一面。

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述步骤1)中,在所述第一衬底上生长单分子层二硫化钨的方法为:在管式炉中的进气端放置硫粉,将WO3粉末和氯化钾粉末混合得到掺杂物,将掺杂物放置于石英舟内,再将第一衬底水平放置在石英舟上且第一衬底的SiO2层朝向所述掺杂物,将所述石英舟放置于硫粉远离管式炉进气端的一侧,通过进气端向所述管式炉内通入惰性气体,在惰性气体环境下,对所述掺杂物和硫粉同时进行加热,其中,将所述掺杂物从室温20~25℃进行第一次升温至700~750℃,立刻再进行第二次升温至890-950℃并于该温度保温3~5min,保温结束,降至室温;将所述硫粉升温至50-400℃并于该温度保持至所述掺杂物的第二次升温后保温结束,降至室温,按质量份数计,所述硫粉和掺杂物的比为(0.18~0.2):0.01,所述WO3粉末和氯化钾粉末的比为(0.01~0.015):(0.001~0.005),所述第一衬底的面积份数与所述硫粉的质量份数的比为(2~5.25):(0.2~0.3),所述面积份数的单位为cm2,所述质量份数的单位为g。

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述石英舟与所述硫粉的距离为25~35cm;

所述第一衬底的SiO2层与所述掺杂物的距离为1~3cm;

通入惰性气体的速率为90~110sccm,其中,在以90~110sccm的速率通入惰性气体前先以1050~1200sccm的速率向管式炉内通入惰性气体,用于去除所述管式炉内的空气;

所述第一次升温的升温速率为15~40℃/min,所述第二次升温的升温速率为15~35℃/min,将所述硫粉升温至50-400℃的升温速率为5~15℃/min;

所述惰性气体为氩气;

所述管式炉中用于放置石英舟的石英管的长度为80~110cm,内径为20~30mm。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津理工大学,未经天津理工大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202011074091.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top