[发明专利]用于半导体封装的夹具在审
申请号: | 202010787898.7 | 申请日: | 2020-08-07 |
公开(公告)号: | CN112349624A | 公开(公告)日: | 2021-02-09 |
发明(设计)人: | 段珂颜;邱美芬;黄佳艺 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/48 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 刘瑜 |
地址: | 德国瑙伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 半导体 封装 夹具 | ||
1.一种用于半导体封装的夹具,所述夹具包括:
第一部分,所述第一部分包括:第一表面;第二表面,所述第二表面与所述第一表面相对并且被配置为接触第一导电部件;以及在所述第一表面和所述第二表面之间的台阶区域,使得所述第二表面具有小于所述第一表面的面积;以及
第二部分,所述第二部分耦合到所述第一部分并且被配置为接触第二导电部件,所述第二部分包括与所述第一表面对齐的第三表面。
2.根据权利要求1所述的夹具,其中,所述第一部分包括在所述第一表面和所述第二表面之间的第一厚度,并且
其中,所述第二部分包括与所述第三表面相对的第四表面,并且在所述第三表面和所述第四表面之间的第二厚度小于所述第一厚度。
3.根据权利要求1所述的夹具,其中,所述台阶区域包括单个台阶。
4.根据权利要求1所述的夹具,其中,所述台阶区域包括多个台阶。
5.根据权利要求1所述的夹具,其中,所述第一部分包括在所述第一表面和所述第二表面之间的倾斜表面。
6.根据权利要求1所述的夹具,其中,所述第一部分是角锥体状的。
7.根据权利要求1所述的夹具,其中,所述第二部分包括耦合到所述第一部分的平面区域以及被配置为接触所述第二导电部件的弯曲区域。
8.根据权利要求1所述的夹具,还包括:
第三部分,所述第三部分耦合到与所述第二部分相对的所述第一部分,所述第三部分包括第五表面、与所述第五表面相对的第六表面以及在所述第五表面与所述第六表面之间的所述第二厚度,所述第五表面与所述第一表面对齐。
9.一种半导体封装,包括:
第一导电部件;
第二导电部件;以及
夹具,所述夹具将所述第一导电部件电耦合到所述第二导电部件,所述夹具包括:
第一部分,所述第一部分包括:第一表面;耦合到所述第一导电部件的第二表面;在所述第一表面和所述第二表面之间的第一厚度;以及在所述第一表面和所述第二表面之间的台阶区域,使得所述第二表面具有小于所述第一表面的面积;以及
第二部分,所述第二部分耦合到所述第一部分和所述第二导电部件,所述第二部分包括第三表面、第四表面、以及在所述第三表面和所述第四表面之间的小于所述第一厚度的第二厚度,所述第三表面与所述第一表面对齐。
10.根据权利要求9所述的半导体封装,还包括:
模制材料,所述模制材料包封所述第一导电部件、所述第二导电部件和所述夹具的至少部分,使得所述夹具的所述第一表面和所述第三表面被暴露。
11.根据权利要求9所述的半导体封装,其中,所述第一导电部件包括第一管芯、第一引线框架、或第一载体,并且
其中,所述第二导电部件包括第二管芯、第二引线框架、或第二载体。
12.根据权利要求9所述的半导体封装,其中,所述夹具包括第三部分,所述第三部分耦合到与所述第二部分相对的所述第一部分,所述第三部分包括第五表面、第六表面以及在所述第五表面与所述第六表面之间的所述第二厚度,所述第五表面与所述第一表面对齐。
13.根据权利要求9所述的半导体封装,其中,所述台阶区域包括单个台阶。
14.根据权利要求9所述的半导体封装,其中,所述台阶区域包括多个台阶。
15.根据权利要求9所述的半导体封装,其中,所述第一部分包括在所述第一表面和所述第二表面之间的倾斜表面。
16.根据权利要求9所述的半导体封装,其中,所述第一部分是角锥体状的。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造