[发明专利]一种半导体封装超声铝线键合装置有效
申请号: | 202010769951.0 | 申请日: | 2020-08-04 |
公开(公告)号: | CN111863644B | 公开(公告)日: | 2021-03-09 |
发明(设计)人: | 林德辉;许伟波 | 申请(专利权)人: | 广东金田半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/607 | 分类号: | H01L21/607;H01L21/677 |
代理公司: | 北京精金石知识产权代理有限公司 11470 | 代理人: | 张黎 |
地址: | 515000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 封装 超声 铝线键合 装置 | ||
1.一种半导体封装超声铝线键合装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶部开设有输送腔(2),所述输送腔(2)的内腔设置有输送机构(3),所述输送机构(3)包括转动连接于输送腔(2)内腔的两个转辊(31),所述转辊(31)的表面套设有输送带(32),所述输送腔(2)的内腔固定连接有支撑板(4),所述支撑板(4)的顶部与输送带(32)接触,所述输送带(32)的表面设置有传动机构(5),所述底座(1)的顶部设置有压板(6),所述压板(6)的底部设置有升降机构(7),所述压板(6)的顶部设置有铝线放线机构(8),所述底座(1)顶部的后侧设置有超声波劈刀(9);
所述传动机构(5)包括固定于底座(1)顶部右侧的箱体(51),所述箱体(51)内腔的后侧转动连接有转杆(52),所述转杆(52)的前端贯穿至箱体(51)的前侧并固定连接有齿轮(53),所述齿轮(53)位于输送腔(2)的内腔,所述输送带(32)表面的前侧固定连接有齿环(54),所述齿环(54)与齿轮(53)啮合,所述箱体(51)的内腔设置有驱动机构(55);
所述驱动机构(55)包括固定于转杆(52)表面的驱动盘(551),所述驱动盘(551)表面的四周均设置有带动槽(552)和定位弧形槽(553),所述带动槽(552)与定位弧形槽(553)交错设置;
所述箱体(51)内腔底部的左侧固定连接有电机(554),所述电机(554)的输出轴固定连接有立板(555),所述立板(555)的前侧固定连接有与定位弧形槽(553)相适配的弧形板(556),所述立板(555)前侧的顶部和底部均固定连接有与带动槽(552)相适配的带动块(557)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体封装超声铝线键合装置,其特征在于:所述升降机构(7)包括开设于输送腔(2)内腔后侧的凹槽(71),所述凹槽(71)内腔的底部固定连接有气缸(72),所述气缸(72)的顶部贯穿至底座(1)的顶部并与压板(6)固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种半导体封装超声铝线键合装置,其特征在于:所述压板(6)底部的两侧均固定连接有导向杆(73),所述导向杆(73)的底部贯穿至凹槽(71)的内腔,所述导向杆(73)的表面与底座(1)滑动连接。
4.根据权利要求3所述的一种半导体封装超声铝线键合装置,其特征在于:所述铝线放线机构(8)包括固定于压板(6)顶部左侧的铝线盘放置盒(81),所述铝线盘放置盒(81)的前侧固定连接有放线盒(82),所述放线盒(82)的右侧固定连接有马达(83),所述马达(83)的输出轴贯穿至放线盒(82)的内腔并固定连接有转动盘(84),所述放线盒(82)的前侧固定连接有放线导向管(85)。
5.根据权利要求4所述的一种半导体封装超声铝线键合装置,其特征在于:所述转动盘(84)的表面设置有防滑锯齿。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东金田半导体科技有限公司,未经广东金田半导体科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010769951.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造