[发明专利]半导体工艺中的智能图像跟踪系统

权利要求书

1.一种半导体工艺中的智能图像跟踪系统，所述智能图像跟踪系统包括：

图像捕获单元，其包括布置在半导体装置的多个点处的相机，以捕获由所述半导体装置执行的对对象进行的处理过程；

装置控制器，其被配置为控制所述半导体装置的操作并发送对象识别信息、所述对象的映射到时间信息的位置信息、以及指示所述半导体装置的当前操作状态的操作状态信息，其中所述对象识别信息是用于识别所述对象的信息；以及

网络图像记录设备，其被配置为执行控制以将相机识别信息添加到从所述图像捕获单元接收到的图像信息中并将添加有所述相机识别信息的所述图像信息存储在图像数据库中，并且被配置为执行控制以将从所述装置控制器接收到的包括所述对象识别信息、所述对象的映射到所述时间信息的位置信息以及所述操作状态信息的跟踪信息存储到跟踪数据库中，其中，所述相机识别信息用于识别捕获所述图像信息的相机。

2.根据权利要求1所述的半导体工艺中的智能图像跟踪系统，其中，所述网络图像记录设备被配置为执行控制，以通过根据用户输入的搜索条件将存储在所述跟踪数据库中的所述跟踪信息与存储在所述图像数据库中的添加有所述相机识别信息的图像信息进行匹配，将由所述半导体装置执行的对所述对象进行的处理过程显示为连续的图像。

3.根据权利要求1所述的半导体工艺中的智能图像跟踪系统，其中，所述网络图像记录设备将所述对象识别信息配置为根节点，将所述对象移动的路径上的起点和终点配置为子节点，并将所述跟踪信息以树形结构存储在所述跟踪数据库中。

4.根据权利要求3所述的半导体工艺中的智能图像跟踪系统，其中，当多个相机负责捕获被配置为所述子节点的所述起点或所述终点时，所述网络图像记录设备根据所述操作状态信息选择所述多个相机中的一个。

5.根据权利要求1所述的半导体工艺中的智能图像跟踪系统，其中，当所述半导体装置为多个并且负责所述半导体装置的装置控制器和网络图像记录设备具有与所述半导体装置的数量相对应的数量时，所述智能图像跟踪系统还包括：被配置为管理所述网络图像记录设备的中央管理设备，并且

所述中央管理设备响应于来自远程位置的用户终端的请求而执行控制，以将由所述多个网络图像记录设备中的、由所述用户终端指定的网络图像记录设备提供的图像显示到所述用户终端。