[实用新型]一种防干扰装置及半导体制程机台

权利要求书

1.一种防干扰装置，其特征在于，所述防干扰装置包括：

弯管部件，所述弯管部件具有两端口；以及

紧固部件，套设于所述弯管部件的两端口上；以及

至少一吸能部件，安装于所述弯管部件上，其中所述吸能部件介于所述紧固部件间。

2.根据权利要求1所述的一种防干扰装置，其特征在于：所述紧固部件包括第一紧固装置和第二紧固装置，所述第一紧固装置和第二紧固装置套设于所述弯管部件的两端口，所述第一紧固装置用于将所述弯管部件的一端与机台本体连接，所述第二紧固装置用于将所述弯管部件的另一端与电容真空计相连接。

3.根据权利要求2所述的一种防干扰装置，其特征在于：所述弯管部件的两端口分别设置有第一限位凹槽和第二限位凹槽，所述第一紧固装置通过所述第一限位凹槽套设于所述弯管部件上，所述第二紧固装置通过所述第二限位凹槽套设于所述弯管部件上。

4.根据权利要求2所述的一种防干扰装置，其特征在于：所述吸能部件包括第一吸能装置和第二吸能装置，所述第一吸能装置和第二吸能装置设置于所述弯管部件上。

5.根据权利要求2至4任意一项所述的一种防干扰装置，其特征在于：所述弯管部件的弯折角度设置为90°～135°之间。

6.根据权利要求4所述的一种防干扰装置，其特征在于：所述第一吸能装置和第二吸能装置设置为环形。

7.根据权利要求4所述的一种防干扰装置，其特征在于：所述第一吸能装置和第二吸能装置设置为扇形。

8.根据权利要求6或7所述的一种防干扰装置，其特征在于：所述第一吸能装置和第二吸能装置固定安装于所述弯管部件上。

9.一种半导体制程机台，其特征在于：包括机台本体、电容真空计和权利要求1～8任意一项所述的防干扰装置，所述机台本体与防干扰装置的一端连接，所述电容真空计与防干扰装置的另一端连接。

10.根据权利要求9所述的一种半导体制程机台，其特征在于：所述机台本体与所述防干扰装置的弯管部件的一端连接，所述电容真空计与所述防干扰装置的弯管部件的另一端连接。