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[实用新型]半导体工艺设备-CN202321331436.X有效
发明人：杨翼虎;赵琼;何毓纬;夏欢 -专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
申请日： 2023-05-26 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种半导体工艺设备，包括依次连通的工艺腔、第一管路、集尘器、第二管路和真空泵；第一管路为文丘里管路，第一管路远离集尘器的一端与工艺腔连通；集尘器具有一腔体，腔体的一端与第一管路和第二管路连通；第二管路与第一管路并排设置，第二管路远离集尘器的一端与真空泵连通；由于第一管路为文丘里管路，在对工艺腔进行抽气的过程中，会在第一管路靠近集尘器的端部形成真空区，可以吸附第一管路内的气体中的粉尘，使粉尘被吸附进入第一管路端部的集尘器内，避免粉尘直接进入到第二管路及其连通的真空泵中，可以防止真空泵堵塞，从而减少维护时间和维护成本，提高真空泵的寿命和设备的稼动率，避免产品缺陷及报废的风险。
半导体工艺设备

[实用新型]一种火焰监测装置和废气处理设备-CN202320480809.3有效
发明人：杨翼虎;赵琼;何毓纬;张雪莲 -专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
申请日： 2023-03-09 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01J1/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种火焰监测装置和废气处理设备。所述装置包括感光通道、第一感光传感器、第二感光传感器和反射单元；感光通道、第一感光传感器和第二感光传感器设置在第一腔室中；感光通道的一端安装在盖板上，另一端向远离第二腔室的一侧延伸；感光通道连通第一腔室和第二腔室；感光通道的一端和另一端之间开设有用于输送气体的吹扫孔；第一感光传感器安装在感光通道的另一端，第二感光传感器安装在感光通道的一端和另一端之间；反射单元用于将火焰的光反射给第二感光传感器。本方案可以防止粉尘覆盖感光传感器的感光面，防止误报警，预防环境污染，提高了燃烧腔的安全性能，减轻了作业人员的工作量。
一种火焰监测装置废气处理设备

[实用新型]一种晶圆位置调节装置-CN202320432760.4有效
发明人：杨翼虎;何毓纬;程长青;赵琼 -专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
申请日： 2023-03-09 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆位置调节装置，包括吸盘、对位针、第一驱动单元和第二驱动单元；吸盘上设置有三个以上对位轨道槽，对位轨道槽沿吸盘的周向间隔分布，三个以上对位轨道槽围合形成的区域能够容纳晶圆，对位轨道槽贯穿吸盘的上表面和下表面；第一驱动单元用于驱动对位针穿过对应的对位轨道槽并且相对吸盘可上下移动；第二驱动单元用于驱动对位针向吸盘的轴线位置靠拢或远离。如果晶圆的位置相对吸盘的中心位置发生偏移，可以利用第一驱动单元将对位针顶起，然后利用第二驱动单元推动对位针将偏移后的晶圆移动到吸盘的中心位置，然后举升针升起，机械手开始拾取晶圆，这样可以有效规避晶圆因位置偏移而与机械手发生碰撞。
一种位置调节装置

[发明专利]代工产品的管理方法、目标客户端与处理器-CN202211194958.X在审
发明人：房丽华;赵琼;何毓纬 -专利权人：合肥新晶集成电路有限公司
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G06Q10/06 文献下载
摘要：本申请提供了一种代工产品的管理方法、目标客户端与处理器，该管理方法包括：接收多个第一账户发送的订单信息，订单信息至少包括目标代工厂商信息、产品需求量信息和代工产品信息，第一账户为用户登录目标客户端的账户；对目标代工厂商信息相同、代工产品信息相同以及产品需求量低于预定阈值的订单信息进行整合，得到第一目标订单信息；将第一目标订单信息发送至第二账户，以使得第二账户对应的目标代工厂商根据第一目标订单信息进行代工生产，第二账户对应的目标代工厂商与第一目标订单信息对应的目标代工厂商相同，从而解决了现有技术中产品需求量较小的用户无法直接参与到产品代工当中的问题。
代工产品管理方法目标客户端处理器

[实用新型]一种晶圆吸附设备-CN202220747737.X有效
发明人： 何毓纬;夏欢;赵琼;杨翼虎 -专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
申请日： 2022-04-01 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆吸附设备，至少包括：基座；吸附盘，设置于所述基座上，且所述吸附盘的表面允许晶圆吸附连接；导电结构，所述导电结构的一端贯穿所述吸附盘，且与所述晶圆接触，所述导电结构的另一端贯穿所述基座，且接地；以及检测装置，电性连接在所述导电结构和接地端之间。本实用新型提供了一种晶圆吸附设备，提升了晶圆的静电吸附卸载效果。
一种吸附设备

[发明专利]一种晶元破片分析装置及其晶元破片分析方法-CN201810897300.2有效
发明人：赵琼;杨翼虎;何毓纬;孙鹏 -专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
申请日： 2018-08-08 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明公开一种晶元破片分析装置及其晶元破片分析方法，所述晶元破片分析装置包括：带有圆形凹槽的破片记录仪，圆形凹槽内可承载晶元，所述圆形凹槽的外边缘处设置有至少一个目视模块，所述目视模块包括设置于所述圆形凹槽的上边缘处的凸透镜，凸透镜的外侧设置有平面镜，所述晶元破片分析装置还包括托盘模块，托盘模块包括底座和托盘。本发明在凸透镜的外侧增加45°平面镜，将放大后的图像利用反射原理投射到目视区，人员可以在目视区直观的看到撞击点。本发明能够准确判断导致破片位置的接触点，能够精确针对机台部件进行改善，节约查找破片原因时间内造成的机台闲置的时间以及改善后验证时间，增加机台稼动率，增大产能和节约人力资源成本。
一种破片分析装置及其方法

[实用新型]一种防干扰装置及半导体制程机台-CN201921016248.1有效
发明人：夏欢;何毓纬;傅永达;赵琼;杨翼虎 -专利权人：合肥晶合集成电路有限公司
申请日： 2019-07-02 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开一种防干扰装置及半导体制程机台，所述防干扰装置包括弯管部件、紧固部件以及吸能部件，所述弯管部件具有两端口，所述紧固部件套设于所述弯管部件的两端口上，所述吸能部件安装于所述弯管部件上，其中所述吸能部件介于所述紧固部件间。所述半导体制程机台包括机台本体和电容真空计，所述机台本体与防干扰装置的一端连接，所述电容真空计与防干扰装置的另一端连接。本实用新型能够减弱机械波，从而避免了机械波影响电容距离。
一种干扰装置半导体机台

[实用新型]一种气体除尘装置及具有该气体除尘装置的气体处理装置-CN201821753440.4有效
发明人：杨翼虎;赵琼;何毓纬 -专利权人：合肥晶合集成电路有限公司
申请日： 2018-10-26 - 公布日： 2019-07-19 - 主分类号： B01D45/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气体除尘装置及具有该气体除尘装置的气体处理装置，气体除尘装置包括气源系统，气源系统连接有导出气体的气源管，气体通道的一端具有出气口，并且气体通道内设有气体幕墙发生装置，气体幕墙发生装置出口处的气流流向气体通道的出气口，气体处理装置包括燃烧室，燃烧室的顶壁连接有尾气管，燃烧室的顶壁还安装有点火器，燃烧室的顶壁通过气体除尘装置安装有火焰紫外线传感器，气体除尘装置与燃烧室的室内连通。该气体除尘装置能够产生气体幕墙，从而能够有效的对粉尘进行清除，该尾气处理装置能够及时清理粉尘，防止粉尘结晶堵塞光传输路径，提高了半导体尾气的处理效率，避免产能以及人力的损失。
气体除尘装置燃烧室气体处理装置气体通道顶壁幕墙粉尘发生装置气源系统出气口尾气处理装置紫外线传感器本实用新型光传输路径处理效率结晶堵塞气流流向气源管尾气管产能导出火器连通半导体尾气室内

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