[发明专利]正型感光性硅氧烷组合物以及使用了其的固化膜

说明书

本发明提供一种正型感光性组合物，其可形成厚膜的高耐热性的固化膜。一种正型感光性硅氧烷组合物，其包含具有特定结构的聚硅氧烷、硅烷醇缩合催化剂、重氮基萘醌衍生物以及溶剂。

技术领域

本发明涉及正型感光性硅氧烷组合物。本发明另外涉及使用了其的固化膜、以及使用了其的器件(device)。

背景技术

近年来，在显示器、发光二极管、太阳能电池等的光学器件方面，为了更进一步提高光利用效率和节能而提出了各种各样的提案。例如，在液晶显示器方面，已知如下的方法：通过在TFT元件上包覆形成透明的平坦化膜，在该平坦化膜上形成像素电极，从而提高显示装置的开口率。

关于这样的TFT基板用平坦化膜的材料，已知一种通过将丙烯酸系树脂与醌二叠氮化合物进行组合而得到的材料。这些材料具备有平坦化特性与感光性，因而可制作接触孔和其它的图案。但是，随着分辨率和/或帧频(frame frequency)提高而使得布线变得更复杂，因而平坦化变严峻，这些材料变得难以应对。

作为用于形成高耐热性、高透明性、高分辨率的固化膜的材料，已知有聚硅氧烷。特别是，倍半硅氧烷衍生物的低介电常数、高透射率、高耐热性、UV耐受性、以及涂布均匀性优异，因而被广泛使用。倍半硅氧烷是如下的特异性的化合物：是包含3官能度的硅氧烷结构单元RSi(O_1.5)的聚合物，并且在化学结构上是无机二氧化硅(SiO₂)与有机硅树脂(R₂SiO)的中间性存在，但是可溶于有机溶剂，并且由其获得的固化物显现接近于无机二氧化硅的特征性高的耐热性。另外，从平坦化那样的观点考虑，要求开发一种可形成厚膜的正型感光性组合物。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开WO2015/060155号

发明内容

发明想要解决的课题

本发明想要提供一种正型感光性硅氧烷组合物，其具有高耐热性，在进行了厚膜化之时不生成裂纹，且可形成良好的图案。

用于解决课题的方案

本发明的正型感光性硅氧烷组合物的特征在于，其包含以下的组分：

(I)聚硅氧烷，所述聚硅氧烷包含由以下的通式(Ia)表示的重复单元、以及由以下的通式(Ib)表示的重复单元：

式中，R¹表示氢，1～3价的C_1～30的直链状、分支状或者环状的饱和或者不饱和的脂肪族烃基，或1～3价的C_6～30的芳香族烃基，

在前述脂肪族烃基以及前述芳香族烃基中，1个以上的亚甲基是非取代、或者被氧基、酰亚胺基或者羰基取代，1个以上的氢是非取代、或者被氟、羟基或者烷氧基取代，且1个以上的碳是非取代、或者被硅取代，

R¹为2价或3价的情况下，R¹将多个重复单元中所含的Si彼此进行连结，

式中，R²各自独立地为氢，羟基，非取代或者由氧或氮取代的C_1～10烷基、C_6～20芳基或者C_2～10烯基，或者为由式(Ib’)表示的连结基，

L各自独立地为非取代或者由氧或氮取代的C_6～20亚芳基，

m分别独立地为0～2的整数，

n分别独立地为1～3的整数，