[发明专利]正型感光性硅氧烷组合物以及使用了其的固化膜

权利要求书

1.一种固化膜的制造方法，其中所述固化膜通过将正型感光性硅氧烷组合物涂布于基板，进行450℃以上的加热从而制造出，

所述正型感光性硅氧烷组合物包含以下的组分：

(I)聚硅氧烷，所述聚硅氧烷包含由以下的通式(Ia)表示的重复单元、以及由以下的通式(Ib)表示的重复单元：

式中，R¹表示氢，1～3价的C_1～30的直链状、分支状或者环状的饱和或者不饱和的脂肪族烃基，或1～3价的C_6～30的芳香族烃基，

在所述脂肪族烃基以及所述芳香族烃基中，1个以上的亚甲基是非取代、或者被氧基、酰亚胺基或者羰基取代，1个以上的氢是非取代、或者被氟、羟基或者烷氧基取代，且1个以上的碳是非取代、或者被硅取代，

R¹为2价或3价的情况下，R¹将多个重复单元中所含的Si彼此进行连结，

式中，R²各自独立地为非取代或者由氧或氮取代的C_1～10烷基、C_6～20芳基或者C_2～10烯基，或者由式(Ib’)表示的连结基，

L各自独立地为非取代或者由氧或氮取代的C_6～20亚芳基，

m分别独立地为1～2的整数，

n分别独立地为1～2的整数，

结合于一个Si的O_0.5与R²的合计数为3，

(II)硅烷醇缩合催化剂，

(III)重氮基萘醌衍生物，以及

(IV)溶剂，

其中，在所述聚硅氧烷中，由上述通式(Ib)表示的重复单元相对于所述聚硅氧烷的重复单元的总数而言为5～50mol％；

并且，所述聚硅氧烷在末端具有硅烷醇。

2.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述聚硅氧烷进一步包含由以下的通式(Ic)表示的重复单元：

3.根据权利要求1或2所述的制造方法，其中，在上述通式(Ib)中，m为整数1或2。

4.根据权利要求1所述的制造方法，其中，在上述通式(Ib)中，m为2，n为1。

5.根据权利要求1所述的制造方法，其中，上述通式(Ib)的L为非取代的C_6～20亚芳基。

6.根据权利要求1或2所述的制造方法，其中，所述聚硅氧烷的质均分子量为500～25,000。

7.根据权利要求1或2所述的制造方法，其中，所述聚硅氧烷对2.38质量％四甲基氢氧化铵水溶液的溶解速度为

8.根据权利要求1或2所述的制造方法，其中，所述硅烷醇缩合催化剂的波长365nm处的吸光度与波长436nm处的吸光度之比、或者波长365nm处的吸光度与波长405nm处的吸光度之比为2以上。

9.根据权利要求1或2所述的制造方法，其中，所述重氮基萘醌衍生物的含量相对于聚硅氧烷100质量份而言为1～20质量份。

10.一种固化膜，其为利用权利要求1所述的方法而制造出的固化膜，相对于波长400nm的光的透射率为90％以上。

11.根据权利要求10所述的固化膜，其中，在300℃固化之后的开裂极限膜厚为5μm以上。

12.一种电子器件，其包含利用权利要求1所述的方法而制造出的固化膜。