[实用新型]一种半导体材料制备设备

说明书

本实用新型公开了半导体技术领域的一种半导体材料制备设备，包括透明反应罩，所述透明反应罩的顶端设有加料箱，所述加料箱内腔设有秤盘，所述秤盘的底端安装有挡板，所述透明反应罩的内腔底端设有两组液压杆，所述透明反应罩的右侧壁安装有高压主机，所述导料支架贯穿透明反应罩的左侧壁并伸入其内腔，且导料支架内腔设有导料管，所述导料管的一端连接备料箱，且导料管的另一端连接加料斗，所述电动伸缩杆的左端连接透明反应罩内腔左侧壁，本实用新型可满足不同的制备条件，能够对添加原料量加以控制，制备精度高，使用效果好。

技术领域

本实用新型公开了一种半导体材料制备设备，具体为半导体技术领域。

背景技术

半导体材料是一类具有半导体性能(导电能力介于导体与绝缘体之间，电阻率约在1mΩ·cm～1GΩ·cm范围内)、可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料，半导体材料在制备过程中，往往难以对制备原料的量进行控制，而且在制备中，添加原料过程过于复杂，延长了制备的时间，难以在制备过程中对原料的缺失加以添加，为此，我们提出了一种半导体材料制备设备投入使用，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体材料制备设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体材料制备设备，包括透明反应罩，所述透明反应罩的顶端设有加料箱，所述加料箱内腔设有秤盘，所述秤盘的底端安装有挡板，所述挡板的右端连接气缸，且挡板的底端设有重量传感器，所述重量传感器与位于透明反应罩左端的显示屏电性连接，所述透明反应罩的内腔底端设有两组液压杆，两组所述液压杆的顶端连接反应槽，所述反应槽的四周侧壁内腔设有加热装置，且反应槽的左端内侧壁上设有温度传感器，所述温度传感器与显示屏电性连接，所述透明反应罩的右侧壁安装有高压主机，且透明反应罩内腔右侧壁安装有真空泵，所述高压主机连接有贯穿透明反应罩侧壁的管路，所述管路的末端连接冷雾化喷头，所述高压主机的顶端设有进气口，且高压主机的底端设有出气口，所述透明反应罩的左侧壁安装有惰性气体发生器，所述惰性气体发生器连接贯穿透明反应罩左侧壁的进气管，所述惰性气体发生器的顶端安装有备料箱，所述备料箱的底端连接导料支架，所述导料支架贯穿透明反应罩的左侧壁并伸入其内腔，且导料支架内腔设有导料管，所述导料管的一端连接备料箱，且导料管的另一端连接加料斗，所述加料斗的左端连接吸风机，且加料斗的底端连接电动阀门，所述电动阀门的底端连接出料管，所述吸风机的左端连接电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的左端连接透明反应罩内腔左侧壁。

优选的，所述透明反应罩的顶端设有与加料箱底端出口相适配的加料口，所述加料箱的内腔设有进料斗，所述进料斗的出料口正对秤盘的上方。

优选的，所述加料斗的侧壁均匀设有刻度线，所述吸风机的进风口设有挡网，所述挡网的孔径小于待制备原料的直径。

优选的，所述加热装置包括均匀铺设在反应槽侧壁内腔加热板，所述加热板中设有电阻丝组成的加热元件，所述加热板内腔加热管的两端连接有电源。

优选的，所述电动伸缩杆在透明反应罩侧壁上的位置高于反应槽的最低位置。

优选的，所述重量传感器的型号为QS-A-50t，所述温度传感器的型号为DS18b2。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型对原料的添加量有更加精确的控制，可保证制备过程的顺利进行，且设有备料箱，可应对突发情况导致原料缺失的情况，及时对原料进行补充，本实用新型可满足多种制备过程中需要的条件，使用范围广，且制备效率高。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型加料箱结构示意图；

图3为本实用新型加热装置结构示意图。