[发明专利]半导体存储装置及半导体存储装置的控制方法有效

专利信息
申请号: 201810994146.0 申请日: 2018-08-29
公开(公告)号: CN110190059B 公开(公告)日: 2022-11-25
发明(设计)人: 东悠介;佐贯朋也 申请(专利权)人: 铠侠股份有限公司
主分类号: H01L27/11524 分类号: H01L27/11524;H01L27/11551;H01L27/1157;H01L27/11578;G11C16/04;G11C16/26;G11C16/34
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 杨林勳
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 半导体 存储 装置 控制 方法
【权利要求书】:

1.一种半导体存储装置,具备:第1导电层;

所述第1导电层之上的第2导电层;

所述第2导电层之上的第3导电层;

所述第3导电层之上的第4导电层;

n型半导体区域;

p型半导体区域,比所述n型半导体区域更靠近所述第4导电层;

半导体层,贯通所述第1导电层、所述第2导电层、所述第3导电层、及所述第4导电层,设置在所述n型半导体区域与所述p型半导体区域之间,且杂质浓度低于所述n型半导体区域的杂质浓度及所述p型半导体区域的杂质浓度;

第1电荷蓄积区域,设置在所述第1导电层与所述半导体层之间;

第2电荷蓄积区域,设置在所述第2导电层与所述半导体层之间;

第3电荷蓄积区域,设置在所述第3导电层与所述半导体层之间;

第4电荷蓄积区域,设置在所述第4导电层与所述半导体层之间;

电压控制电路,控制施加到所述第1导电层、所述第2导电层、所述第3导电层、及所述第4导电层的电压,而执行读出基于所述第2电荷蓄积区域中的电荷量的第1数据的第1读出序列、及以与所述第1读出序列不同的序列读出基于所述第2电荷蓄积区域中的电荷量的第2数据的第2读出序列;

比较电路,对所述第1数据与所述第2数据进行比较;及

判定电路,基于所述比较电路的比较结果,判定所述第1数据与所述第2数据中的哪一个数据为真值;且

所述第1读出序列及所述第2读出序列具备:断开步骤,包括对所述第2导电层施加断开电压;及读出步骤,包括对所述第2导电层施加高于所述断开电压的读出电压;且所述第1读出序列的所述断开电压与所述第2读出序列的所述断开电压为不同值。

2.根据权利要求1所述的半导体存储装置,还具备存储所述第1数据的第1存储器、及存储所述第2数据的第2存储器。

3.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中所述第1数据及所述第2数据是包含所述第2导电层、所述第2电荷蓄积区域、及所述半导体层的存储单元晶体管的阈值电压。

4.根据权利要求1所述的半导体存储装置,还具备产生多个电平的所述断开电压的电压产生电路。

5.根据权利要求4所述的半导体存储装置,其中所述多个电平的所述断开电压中的至少一个电压为正电压。

6.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中所述断开步骤包括对所述第1导电层施加正电压、对所述第3导电层施加正电压、及对所述第4导电层施加负电压。

7.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中所述读出步骤包括对所述第1导电层施加正电压、对所述第3导电层施加正电压、对所述第4导电层施加负电压、及对所述p型半导体区域施加正电压。

8.根据权利要求1所述的半导体存储装置,还具备设置在所述第1导电层与所述第2导电层之间、所述第2导电层与所述第3导电层之间、及所述第3导电层与所述第4导电层之间的绝缘层。

9.根据权利要求1所述的半导体存储装置,还具备设置在所述第1导电层与所述第2导电层之间的第5导电层、及设置在所述第3导电层与所述第4导电层之间的第6导电层。

10.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中所述半导体层为多晶硅。

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