[发明专利]一种走线结构及其制备方法、显示装置有效
申请号: | 201810928918.0 | 申请日: | 2018-08-15 |
公开(公告)号: | CN109087902B | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
发明(设计)人: | 李海旭;曹占锋;王珂;汪建国 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/49 | 分类号: | H01L23/49;H01L21/48 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 张京波;曲鹏 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 结构 及其 制备 方法 显示装置 | ||
1.一种走线结构,包括基体,其特征在于,还包括形成于所述基体上的预布置层,形成于所述基体和所述预布置层上的种子层,以及形成于所述种子层上的电极走线,所述电极走线覆盖所述预布置层,所述预布置层的两侧与所述基体的夹角为15-60°,以使所述预布置层引导所述电极走线的形成。
2.根据权利要求1所述的走线结构,其特征在于,所述预布置层的宽度不大于所述电极走线的宽度。
3.根据权利要求1所述的走线结构,其特征在于,所述预布置层的横截面为梯形。
4.根据权利要求1-3任一所述的走线结构,其特征在于,所述预布置层的材料为金属材料、有机材料或无机材料。
5.根据权利要求1-3任一所述的走线结构,其特征在于,所述预布置层的厚度大于0.01um,并小于所述种子层厚度的1/2。
6.根据权利要求1-3任一所述的走线结构,其特征在于,所述电极走线为金属电极走线。
7.一种显示装置,其特征在于,包括如权利要求1-6任一所述的走线结构。
8.一种走线结构的制备方法,其特征在于,包括:
确定在基体上形成电极走线的走线位置;
在基体的走线位置上形成预布置层,所述预布置层的两侧与所述基体的夹角为15-60°,以使所述预布置层引导所述电极走线的形成;
在基体和预布置层上形成种子层;
在走线位置外围的种子层上涂覆胶膜;
采用电镀工艺,在预布置层的引导下,在走线位置的种子层上形成电极走线,然后将胶膜去除。
9.根据权利要求8所述的走线结构的制备方法,其特征在于,采用电镀工艺,在走线位置的种子层上形成电极走线的方法包括:
将基体放入含有镀层离子的溶液内;
将基体上的种子层作为阴极,将含有镀层离子的溶液作为阳极,通电,在走线位置的种子层上形成电极走线。
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