[发明专利]用于半导体工艺的腔体盖与顶板的组件及成膜装置

权利要求书

1.一种用于半导体工艺的腔体盖与顶板的组件，其特征在于，该组件包含：

一腔体盖，包含一凹部；

一顶板，包含一平板部及一凸设于该平板部中央的支撑环；以及

一容纳于该腔体盖的凹部的固持机构，其包含:

一对臂部；

一对连接部，分别连接于该对臂部；

一对连杆，分别使该对连接部以相反方向移动；及

一驱动部，驱动该对连杆有相对运动；

其中当该对连接部以相反方向移动而靠近，从而该对臂部固持该支撑环。

2.根据权利要求1所述的用于半导体工艺的腔体盖与顶板的组件，其特征在于，该固持机构另包含一具有两个导槽的导引部，该对连接部分别沿着该导槽而以相反方向移动。

3.根据权利要求2所述的用于半导体工艺的腔体盖与顶板的组件，其特征在于，该支撑环包含一环状体及一设于该环状体的一端的凸缘。

4.根据权利要求3所述的用于半导体工艺的腔体盖与顶板的组件，其特征在于，该对臂部嵌入该环状体及该凸缘形成的空间内以固持该支撑环。

5.根据权利要求1所述的用于半导体工艺的腔体盖与顶板的组件，其特征在于，各该连杆的一端与该驱动部结合，当该驱动部逆时钟或顺时钟旋转时，则该对连接部以相反方向移动而靠近或远离，从而该对臂部固持或释放该支撑环。

6.一种用于半导体工艺的成膜装置，其特征在于，包含：

一反应腔，包含一具有一凹部的腔体盖；

一顶板，包含一于中央有一开口的平板部及一凸设于该平板部的开口的支撑环；

一容纳于该腔体盖的凹部的固持机构，其包含：

一对臂部；

一对连接部，分别连接于该对臂部；

一对连杆，分别使该对连接部以相反方向移动；及

一驱动部，驱动该对连杆有相对运动；

其中当该对连接部以相反方向移动而靠近，从而该对臂部固持该支撑环；以及

一气体喷射器，设置于该平板部的开口中。

7.根据权利要求6所述的用于半导体工艺的成膜装置，其特征在于，该气体喷射器包含一气体流道部，该气体流道部突出于该平板部的开口及该腔体盖外。

8.根据权利要求6所述的用于半导体工艺的成膜装置，其特征在于，该固持机构另包含一具有两个导槽的导引部，该对连接部分别沿着该导槽而以相反方向移动。

9.根据权利要求6所述的用于半导体工艺的成膜装置，其特征在于，该支撑环包含一环状体及一设于该环状体的一端的凸缘。

10.根据权利要求9所述的用于半导体工艺的成膜装置，其特征在于，该对臂部嵌入该环状体及该凸缘形成的空间内以固持该支撑环。

11.根据权利要求10所述的用于半导体工艺的成膜装置，其特征在于，各该连杆的一端与该驱动部结合，当该驱动部逆时钟或顺时钟旋转时，则该对连接部以相反方向移动而靠近或远离，从而该对臂部固持或释放该支撑环。