[发明专利]在线系统

权利要求书

1.一种在线系统，该在线系统具有：

第1装置，其对晶片进行加工；

第2装置，其对由该第1装置加工后的晶片进行加工；以及

交接单元，其配设在沿X方向排列设置的该第1装置与该第2装置之间，将晶片从该第1装置交接给该第2装置，其中，

该第1装置以该交接单元为基准配设在-X方向侧，具有对晶片进行搬送的第1机械手，

该第2装置以该交接单元为基准配设在+X方向侧，具有对晶片进行搬送的第2机械手，

该交接单元具有：

临时放置盒，其将多个晶片支承为货架状；以及

工作台，其具有载置该临时放置盒的载置面，

该临时放置盒具有：

多个支承搁板，它们将晶片支承为货架状；

一对侧板，它们分别对该多个支承搁板的、在该工作台的该载置面方向上与该X方向垂直的Y方向的两个侧边进行连结，并且该一对侧板对置；

顶板，其对该一对侧板的上边进行连结；

底板，其对该一对侧板的下边进行连结；

第1开口，其形成于-X方向侧面；

第2开口，其形成于+X方向侧面；

交接区域，供该第1机械手在与XY方向垂直的Z方向上移动的第1区域和供该第2机械手在Z方向上移动的第2区域在Z方向上错开配设，在该第1区域与该第2区域重复的区域中将晶片从该第1装置交接给该第2装置；

第1回收区域，在从该第1区域减去该交接区域而得的区域中对从该第1装置取出的加工途中的晶片进行回收；以及

第2回收区域，在从该第2区域减去该交接区域而得的区域中对从该第2装置取出的加工途中的晶片进行回收。

2.根据权利要求1所述的在线系统，其中，

该交接区域具有比该第1回收区域和该第2回收区域多的该支承搁板。

3.根据权利要求1或2所述的在线系统，其中，

该在线系统具有旋转单元，该旋转单元以与载置该临时放置盒的该载置面垂直的方向为轴向，使该工作台以该载置面的中心为轴自由旋转±90度。