[发明专利]显示面板在审

专利信息
申请号: 201810447029.2 申请日: 2014-02-11
公开(公告)号: CN108666350A 公开(公告)日: 2018-10-16
发明(设计)人: 李冠锋;林明昌;颜子旻 申请(专利权)人: 群创光电股份有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32;G02F1/1362
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 陈小雯
地址: 中国台湾新竹*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 钝化层 第一电极 半导体层 底板 第二电极 上边缘 栅极层 通孔 栅极介电层 显示面板 一侧边缘 侧边缘 薄膜晶体管基板 电连接 暴露 贯穿
【说明书】:

本发明公开一种显示面板,其薄膜晶体管基板包括底板、栅极层、栅极介电层、半导体层、第一电极层、第一钝化层、第二钝化层、通孔及第二电极层。栅极层位于底板上。半导体层位于底板上。栅极介电层位于栅极层与半导体层之间。第一电极层位于半导体层上。第一钝化层位于第一电极层上。第二钝化层位于第一钝化层上。通孔贯穿第一钝化层及第二钝化层,以暴露部分的第一电极层及部分的第一钝化层。第二电极层位于第二钝化层之上,并通过通孔与第一电极层电连接。其中,暴露的部分的第一钝化层包括第一侧边缘及第一上边缘,第二钝化层包括第二侧边缘,第一上边缘位于第一侧边缘与第二侧边缘之间,第二电极层接触第一上边缘。

本申请是中国发明专利申请(申请号:201410048562.3,申请日:2014年02月11日,发明名称:显示面板)的分案申请。

技术领域

本发明是有关于一种显示面板,且特别是有关于一种具有薄膜晶体管基板的显示面板。

背景技术

在显示面板的制作工艺中,若要让位于绝缘层上下两侧的导电层导通,会设计通孔(via or contact hole),使上下两侧的导电层能电连接。举例来说,使像素结构中像素电极与薄膜晶体管的漏极电连接的方法,就是在形成像素电极之前,先进行图案化制作工艺,于绝缘层中形成通孔,暴露底下的漏极,再镀上像素电极,则像素电极与漏极可通过此通孔电连接。

然而,随着高分辨率显示面板的发展,其结构与制作工艺也越加复杂,不同的导电层间可能间隔一层以上的绝缘层。由于不同绝缘层的成膜条件不同,在蚀刻形成通孔时,便容易形成倒角。这样的倒角易使通孔填补不完全,或于镀上导电层时发生断线,影响显示面板的品质。

发明内容

本发明的目的在于提供一种显示面板,具有特定的钝化层设计,能使通孔侧壁的钝化层接面平缓,避免其上电极层断线的情形。

根据本发明的第一方面,提出一种显示面板。显示面板包括薄膜晶体管基板、对向基板及位于两者之间的显示层。薄膜晶体管基板包括底板、栅极层、栅极介电层、半导体层、第一电极层、第一钝化层、第二钝化层及第二电极层。栅极层位于底板之上。栅极介电层位于栅极层之上。半导体层位于栅极介电层之上。第一电极层位于半导体层之上。第一钝化层位于第一电极层之上。第二钝化层位于第一钝化层之上,且具有通孔贯穿第一钝化层,以暴露部分的第一电极层。第二电极层位于第二钝化层之上,并通过通孔与第一电极层电连接。其中,第一钝化层在通孔侧边具有第一倾角,第二钝化层在通孔侧边具有第二倾角,第一倾角与第二倾角的角度差小于30度。

根据本发明的第二方面,提出一种显示面板。显示面板包括薄膜晶体管基板、对向基板及位于两者之间的显示层。薄膜晶体管基板包括底板、栅极层、栅极介电层、半导体层、第一电极层、第一钝化层、第二钝化层及第二电极层。栅极层位于底板之上。栅极介电层位于栅极层之上。半导体层位于栅极介电层之上。第一电极层位于半导体层之上。第一钝化层位于第一电极层之上。第二钝化层位于第一钝化层之上,并具有通孔贯穿第一钝化层,以暴露部分的第一电极层。第二电极层位于第二钝化层之上,并通过通孔与第一电极层电连接。其中,第二钝化层为多层钝化膜组成的多层结构,且该第二钝化层在该通孔侧边具有介于10-80度的一第二倾角。

附图说明

图1绘示依照本发明一实施例的显示装置的示意图。

图2A绘示依照本发明一实施例的薄膜晶体管基板的示意图。

图2B绘示图2A的区域A的放大示意图。

图3绘示依照本发明另一实施例的薄膜晶体管基板的示意图。

图4A-图4D绘示图2A及图3中通孔的制造方法的示意图。

符号说明

1:显示装置

10、11、12:薄膜晶体管基板

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