[发明专利]具有可移动结构的沉积或清洁装置和操作方法

说明书

一种沉积或清洁装置，包括：外真空室和位于外室内部的反应室，形成双室结构。反应室被配置成在外真空室内部的处理位置和降低的位置之间移动，该降低的位置用于将一个或多个衬底装载至所述反应室中。

技术领域

本发明一般涉及沉积或清洁装置及其操作方法。更具体地但非排他地，本发明涉及具有可移动结构的衬底处理反应器。

背景技术

本部分示出了有用的背景信息，但不承认本文所述的技术是现有技术。

在传统的沉积或清洁工艺中，衬底(例如，晶片)在真空簇结构内移动。这些结构应在衬底上产生最少的颗粒或优选不增加颗粒。衬底上方的任何机械或移动部件是可能影响沉积质量的潜在粒子源。对于一些应用和尺寸，现有技术中的移动部件不再能提供可接受的解决方案。

US9,095,869B2公开了一种沉积反应器结构，其包括位于等离子体源和反应室之间的衬底传送室。传送室包括在反应室的顶侧上的用于反应性化学物质的移动馈入部分。该馈入部分是可垂直形变的，具有收缩形状和延伸形状。收缩形状允许经由通过收缩馈入部分而形成的路线将衬底装载到反应室中。

发明内容

本发明的实施例的目的是提供一种关于衬底的装载和卸载的改进的方法和装置，并且最小化或避免由颗粒产生引起的问题。

根据本发明的第一示例方面，提供了一种沉积或清洁装置，包括：

外室；

在外室内部的反应室，形成双室结构，其中，所述反应室被配置成在所述外室内的处理位置和降低的位置之间移动，所述降低的位置用于将一个或多个衬底装载到所述反应室中。

与其中反应室静止并且其他结构移动的现有技术相反，本发明的实施例提供了反应室本身的移动。反应室可在垂直方向上移动，或至少部分在垂直方向上移动。可移动的反应室还包括可移动的反应室的侧壁。在某些示例性实施例中，可移动反应室是单片结构。在某些示例性实施例中，反应室形成整体。在某些示例性实施例中，反应室的移动从(反应室的)下方致动。

在某些示例性实施例中，反应室的移动部分位于衬底下方(即，不在上方)。在某些示例性实施例中，反应室整体被配置成移动。在某些示例性实施例中，反应室的侧壁被配置成与反应室的其余部分一起移动。在某些示例性实施例中，反应室底部和反应室侧壁之间的距离在移动时是恒定的。在某些示例性实施例中，外室不移动，即外室是静止的。

处理位置可以是沉积位置和/或清洁位置。

在某些示例性实施例中，该装置被配置为通过反应室的向下移动形成进入反应室的装载开口。

在某些示例性实施例中，反应室被配置成在反应室向下移动时从上部静止部分(即，在移动反应室上部的静止部分)脱离，以打开用于装载的路线。在某些示例性实施例中，上部静止部分是提供流体馈入到反应室中的部分。

可移动反应室顶部的部分(即装置的上部静止部分)可以是开放或封闭的部分。它可以是宽管，例如，从自由基源延伸的自由基馈入部分。或者，它可以是例如盖状部分，其任选地包括用于向下流体分发的膨胀体积。

在某些示例性实施例中，反应室形成具有旋转对称性的主体。反应室可以是碗状部分(在其底部具有排气开口)。

在某些示例实施例中，该装置包括：

在所述外室侧面的装载端口，用于通过所述外室侧面将一个或多个衬底装载到所述反应室中。在某些示例实施例中，装载端口是装载锁。在某些示例性实施例中，装载端口是门阀或舱口。

在某些示例实施例中，该装置包括：

移动元件，被配置为允许反应室的垂直移动。在某些示例性实施例中，移动元件连接到反应室。移动元件可以是柔性结构。移动元件可以是气密结构。