[发明专利]用于半导体或显示系统领域的移送位置测量用试验模型及精密移送测量方法

权利要求书

1.一种移送位置测量用试验模型，适用于包括如下装置的、在半导体或显示系统领域中使用的设备：保管盒，用于装载检测对象体；对象体固定装置，包括用于固定所述检测对象体的固定单元；以及移送机器人，用于向所述固定单元移送所述保管盒中的所述检测对象体，其特征在于，包括：

模型本体，大小与所述检测对象体的大小相同；

针孔影像测量部件，能够识别或拍摄形成于所述固定单元的多个引导针孔；

狭缝影像测量部件，在所述模型本体保管在所述保管盒的状态下，能够识别或拍摄以能够测量配置于所述模型本体上端的所述保管盒的狭缝与所述模型本体之间的间隔的方式配置于所述模型本体上端的所述保管盒的所述狭缝；及

中央处理部件，用于向预先准备的影像处理计算机传送由所述针孔影像测量部件和所述狭缝影像测量部件分别测量的信息；

所述狭缝影像测量部件包括能够分别识别配置于所述模型本体的两侧上端的一侧狭缝和另一侧狭缝的一侧狭缝摄像头和另一侧狭缝摄像头，

所述一侧狭缝摄像头和所述另一侧狭缝摄像头存在于相同的水平线，

若在所述保管盒保管的所述移送位置测量用试验模型的底部面插入所述移送机器人时将所述移送位置测量用试验模型举起规定高度，则所述一侧狭缝摄像头拍摄配置于所述模型本体的一侧上端的所述一侧狭缝，另一侧狭缝摄像头拍摄配置于所述模型本体的另一侧上端的所述另一侧狭缝，

通过利用所述狭缝影像测量部件测量的值来演算的值，判断所述狭缝和所述移送位置测量用试验模型的间隔值(H)与预先输入的正常比较值(H')是否相同，从而判断是否利用所述移送机器人来向所述保管盒的外侧取出或向内部放入所述保管盒的所述移送位置测量用试验模型，

所述间隔值(H)由式H＝h3+h4+h5演算，

其中，h4为所述一侧狭缝高度的一半值，且为预先储存于所述影像处理计算机的值，

h5为从所述模型本体的上端部向所述一侧狭缝摄像头的中央的垂直距离，且为预先储存于所述影像处理计算机的值，

h3为通过式h3＝h1-h2求出的值，

其中，h1为利用所述影像处理计算机的视觉技术来对在所述一侧狭缝摄像头中拍摄的一侧识别范围的所述影像进行处理来提取的所述一侧狭缝底部面和所述模型本体之间的垂直间隔值，

h2为从所述h1去除的高度值，且为利用预先输入的θ来通过式h2＝d1*tan(90-θ)求出的值，

其中，d1为从所述保管盒的内部面至所述一侧狭缝摄像头的水平距离，且为预先储存于所述影像处理计算机的值，

θ为在90°中，除从所述一侧狭缝摄像头拍摄的方向的虚拟中央线至所述模型本体的拍摄的角度之外的演算值，且为预先输入在所述影像处理计算机的值，

通过比较以上述的方式演算的在所述一侧狭缝摄像头侧的所述间隔值(H)和所述另一侧狭缝摄像头侧的间隔值(H)，判断对于所述移送位置测量用试验模型的一侧和另一侧的倾斜度是否平行，其中，所述另一侧狭缝摄像头侧的间隔值(H)为利用与在所述一侧狭缝摄像头侧求出间隔值(H)的演算方式相同的演算方式演算出的值。

2.根据权利要求1所述的移送位置测量用试验模型，其特征在于，所述针孔影像测量部件由用于分别测量在所述固定单元形成的多个所述引导针孔的多个针孔拍摄用摄像头构成，

在所述针孔拍摄用摄像头中预先设定有所述引导针孔的识别范围或拍摄范围。

3.根据权利要求2所述的移送位置测量用试验模型，其特征在于，所述针孔拍摄用摄像头形成于所述模型本体的底部面，且被形成为与预先设定的所述引导针孔的拍摄范围对应，并能够拍摄所述针孔拍摄用摄像头与所述固定单元相接触的状态。

4.根据权利要求1所述的移送位置测量用试验模型，其特征在于，所述针孔影像测量部件包括屏幕部件，所述屏幕部件形成于所述模型本体的底部面，能够与所述固定单元相接触，通过坐标值来输出所接触的部分。

5.根据权利要求1所述的移送位置测量用试验模型，其特征在于，所述移送位置测量用试验模型包括检测部件，所述检测部件能够测量所述移送位置测量用试验模型的周边环境的变化和所述移送位置测量用试验模型自身的倾斜度。