[发明专利]一种铜合金键合丝及其制造方法

权利要求书

1.一种铜合金键合丝，其特征在于按重量计含有Pd 0.1-1%，微量添加元素1-300 ppm，余量为铜；所述微量添加元素是Ca、In、Co、Be、Ga、Mg、Ni、Pt和Al中的一种或其中两种以上的组合。

2.权利要求1所述的铜合金键合丝的制造方法，其特征在于包括下述步骤：

（1）熔铸：按比例将Pd和微量添加元素加入到铜原料中，经过真空熔炼和定向连续引铸工艺，获得直径为6-8毫米的线材；

（2）拉丝：对步骤（1）得到的线材进行拉丝，获得直径为50-280μm的铜合金线；

（3）中间退火：步骤（2）拉丝完成后，对铜合金线进行中间退火，在退火过程中采用N₂或者氮氢混合气来做为退火气氛，退火炉有效长度为600-1000mm，退火温度为300-600℃，退火速率为60-120m/min；

（4）对经步骤（3）中间退火处理的铜合金线继续进行拉丝，获得直径为15-40μm的铜合金线；

（5）最后退火：对步骤（4）得到的铜合金线进行最后退火，在退火过程中采用N₂或者氮氢混合气来做为退火气氛，退火炉有效长度为600-1000mm，退火温度为300-600℃，退火速率为60-120m/min；

（6）冷却：最后退火结束后，将铜合金线冷却至20-30℃，得到所需的铜合金键合丝。

3.根据权利要求2所述的铜合金键合丝的制造方法，其特征在于：所述步骤（3）和步骤（5）采用的氮氢混合气由5%(体积)的 H₂ 和95%(体积) 的N₂组成。