[发明专利]光电子半导体芯片有效

专利信息
申请号: 201711284743.6 申请日: 2014-06-25
公开(公告)号: CN107946428B 公开(公告)日: 2020-10-23
发明(设计)人: 卡尔·恩格尔;格奥尔格·哈通;约翰·艾布尔;迈克尔·胡贝尔;马库斯·毛特 申请(专利权)人: 欧司朗光电半导体有限公司
主分类号: H01L33/40 分类号: H01L33/40;H01L33/46;H01L33/22;H01L33/38;H01L33/50;H01L33/56;H01L33/62;H01L33/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 丁永凡;张春水
地址: 德国雷*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 光电子 半导体 芯片
【权利要求书】:

1.一种光电子半导体芯片,具有:

-半导体本体(10),所述半导体本体包括n型传导的区域(2)、设置用于产生电磁辐射的有源区域(4)和p型传导的区域(3);

-第一镜层(21),所述第一镜层设置用于反射电磁辐射;

-第一封装层(11),所述第一封装层通过电绝缘的材料形成;

-第二封装层(12),所述第二封装层通过电绝缘的材料形成;和

-第三封装层(13),所述第三封装层通过电绝缘的材料形成;和

-第五封装层(15),所述第五封装层是ALD层,意即:原子层沉积层,

其中

-所述第一镜层(21)设置在所述p型传导的区域(3)的下侧上,

-所述有源区域(4)设置在所述p型传导的区域(3)的背离所述第一镜层(21)的侧上,

-所述n型传导的区域(2)设置在所述有源区域(4)的背离所述p型传导的区域(3)的侧上,

-所述第一封装层、第二封装层和第三封装层(11、12、13)局部地覆盖所述半导体本体(10)的外面,

-所述第三封装层(13)完全地遮盖所述第一镜层(21)的背离所述p型传导的区域(3)的侧并且局部地与所述第一镜层(21)直接接触,

-所述第二封装层(12)和所述第三封装层(13)在所述第一镜层(21)的侧向的区域中局部地彼此直接接触,并且

-所述第二封装层(12)和所述第三封装层(13)是ALD层,意即:原子层沉积层,并且

-所述第五封装层(15)至少在所述n型传导的区域(2)上完全地覆盖所述半导体本体(10)的所述外面,并且

-所述第五封装层(15)在所述半导体本体(10)的侧向局部地与所述第二封装层(12)直接接触。

2.根据权利要求1所述的光电子半导体芯片,具有:

第二镜层(22),所述第二镜层设置在所述第三封装层(13)的背离所述半导体本体(10)的下侧上,其中所述第二镜层(22)沿着横向方向伸出所述半导体本体(10)的所述外面。

3.根据权利要求1或2所述的光电子半导体芯片,

其中所述第一封装层(11)在所述半导体本体(10)的所述外面上从所述有源区域(4)沿着所述p型传导的区域(3)延伸直至所述第一镜层(21)的侧面,其中所述第一封装层(11)与所述第一镜层(21)直接接触。

4.根据权利要求1或2所述的光电子半导体芯片,

具有第四封装层(14),所述第四封装层完全地遮盖所述第三封装层(13)的背离所述半导体本体(10)的侧并且至少局部地与所述第三封装层(13)直接接触。

5.根据权利要求1或2所述的光电子半导体芯片,

其中所述第二封装层(12)在与所述第五封装层(15)接触的区域中具有刻蚀工艺的痕迹。

6.根据权利要求1或2所述的光电子半导体芯片,

其中所述第二封装层(12)在与所述第五封装层(15)接触的区域中与在所述第二封装层(12)和所述第五封装层(15)之间不接触的区域中相比是更薄的。

7.根据权利要求1或2所述的光电子半导体芯片,

具有至少一个穿通接触部(40),所述穿通接触部延伸穿过所述p型传导的区域(3)和所述有源区域(4)直至进入到所述n型传导的区域(2)中,其中

-所述穿通接触部(40)包括n型接触材料(41),所述n型传导的区域(2)经由所述n型接触材料是能够电接触的,并且

-所述半导体本体(10)除至少一个所述穿通接触部(40)以外完全地由所述第三封装层(13)和所述第五封装层(15)围绕。

8.根据权利要求4所述的光电子半导体芯片,

其中所述光电子半导体芯片具有至少一个穿通接触部(40),所述穿通接触部(40)包括n型接触材料(41),和所述第一封装层、第二封装层、第三封装层和第四封装层(11,12,13,14)局部地直接邻接于所述n型接触材料(41)。

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