[发明专利]光电子半导体芯片有效
申请号: | 201711284743.6 | 申请日: | 2014-06-25 |
公开(公告)号: | CN107946428B | 公开(公告)日: | 2020-10-23 |
发明(设计)人: | 卡尔·恩格尔;格奥尔格·哈通;约翰·艾布尔;迈克尔·胡贝尔;马库斯·毛特 | 申请(专利权)人: | 欧司朗光电半导体有限公司 |
主分类号: | H01L33/40 | 分类号: | H01L33/40;H01L33/46;H01L33/22;H01L33/38;H01L33/50;H01L33/56;H01L33/62;H01L33/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 丁永凡;张春水 |
地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 光电子 半导体 芯片 | ||
1.一种光电子半导体芯片,具有:
-半导体本体(10),所述半导体本体包括n型传导的区域(2)、设置用于产生电磁辐射的有源区域(4)和p型传导的区域(3);
-第一镜层(21),所述第一镜层设置用于反射电磁辐射;
-第一封装层(11),所述第一封装层通过电绝缘的材料形成;
-第二封装层(12),所述第二封装层通过电绝缘的材料形成;和
-第三封装层(13),所述第三封装层通过电绝缘的材料形成;和
-第五封装层(15),所述第五封装层是ALD层,意即:原子层沉积层,
其中
-所述第一镜层(21)设置在所述p型传导的区域(3)的下侧上,
-所述有源区域(4)设置在所述p型传导的区域(3)的背离所述第一镜层(21)的侧上,
-所述n型传导的区域(2)设置在所述有源区域(4)的背离所述p型传导的区域(3)的侧上,
-所述第一封装层、第二封装层和第三封装层(11、12、13)局部地覆盖所述半导体本体(10)的外面,
-所述第三封装层(13)完全地遮盖所述第一镜层(21)的背离所述p型传导的区域(3)的侧并且局部地与所述第一镜层(21)直接接触,
-所述第二封装层(12)和所述第三封装层(13)在所述第一镜层(21)的侧向的区域中局部地彼此直接接触,并且
-所述第二封装层(12)和所述第三封装层(13)是ALD层,意即:原子层沉积层,并且
-所述第五封装层(15)至少在所述n型传导的区域(2)上完全地覆盖所述半导体本体(10)的所述外面,并且
-所述第五封装层(15)在所述半导体本体(10)的侧向局部地与所述第二封装层(12)直接接触。
2.根据权利要求1所述的光电子半导体芯片,具有:
第二镜层(22),所述第二镜层设置在所述第三封装层(13)的背离所述半导体本体(10)的下侧上,其中所述第二镜层(22)沿着横向方向伸出所述半导体本体(10)的所述外面。
3.根据权利要求1或2所述的光电子半导体芯片,
其中所述第一封装层(11)在所述半导体本体(10)的所述外面上从所述有源区域(4)沿着所述p型传导的区域(3)延伸直至所述第一镜层(21)的侧面,其中所述第一封装层(11)与所述第一镜层(21)直接接触。
4.根据权利要求1或2所述的光电子半导体芯片,
具有第四封装层(14),所述第四封装层完全地遮盖所述第三封装层(13)的背离所述半导体本体(10)的侧并且至少局部地与所述第三封装层(13)直接接触。
5.根据权利要求1或2所述的光电子半导体芯片,
其中所述第二封装层(12)在与所述第五封装层(15)接触的区域中具有刻蚀工艺的痕迹。
6.根据权利要求1或2所述的光电子半导体芯片,
其中所述第二封装层(12)在与所述第五封装层(15)接触的区域中与在所述第二封装层(12)和所述第五封装层(15)之间不接触的区域中相比是更薄的。
7.根据权利要求1或2所述的光电子半导体芯片,
具有至少一个穿通接触部(40),所述穿通接触部延伸穿过所述p型传导的区域(3)和所述有源区域(4)直至进入到所述n型传导的区域(2)中,其中
-所述穿通接触部(40)包括n型接触材料(41),所述n型传导的区域(2)经由所述n型接触材料是能够电接触的,并且
-所述半导体本体(10)除至少一个所述穿通接触部(40)以外完全地由所述第三封装层(13)和所述第五封装层(15)围绕。
8.根据权利要求4所述的光电子半导体芯片,
其中所述光电子半导体芯片具有至少一个穿通接触部(40),所述穿通接触部(40)包括n型接触材料(41),和所述第一封装层、第二封装层、第三封装层和第四封装层(11,12,13,14)局部地直接邻接于所述n型接触材料(41)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于欧司朗光电半导体有限公司,未经欧司朗光电半导体有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201711284743.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。