[发明专利]细节距单IC芯片封装件及其制备方法在审
申请号: | 201710656820.X | 申请日: | 2017-08-03 |
公开(公告)号: | CN107492534A | 公开(公告)日: | 2017-12-19 |
发明(设计)人: | 朱文辉;杨辉;李军辉;何虎;陈卓 | 申请(专利权)人: | 中南大学 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L21/50;H01L21/60 |
代理公司: | 长沙朕扬知识产权代理事务所(普通合伙)43213 | 代理人: | 周孝湖 |
地址: | 410083 *** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 细节 ic 芯片 封装 及其 制备 方法 | ||
1.一种细节距单IC芯片封装件,包括塑封体(1),所述塑封体(1)内设有引线框架载体(2)和多个框架引线内引脚(3),所述引线框架载体(2)的上表面固接有IC芯片(4),所述IC芯片(4)的上表面设有多个焊盘(5),多个所述焊盘(5)呈两排平行布置,形成第一焊盘组和第二焊盘组,每个焊盘(5)通过铜键合线分别对应连接一框架引线内引脚(3),其特征在于:每一焊盘组中的多个焊盘(5)的上表面间隔设置有铝电镀层(6),一个焊盘组中设置有铝电镀层(6)的焊盘(5)与另一焊盘组中未设置铝电镀层(6)的焊盘(5)相对应。
2.根据权利要求1所述的细节距单IC芯片封装件,其特征在于:所述铝电镀层(6)的厚度为28μm~32μm,铝电镀层(6)的外形尺寸为35μm×35μm。
3.根据权利要求1所述的细节距单IC芯片封装件,其特征在于:所述焊盘(5)的节距≤43μm,焊盘(5)的外形尺寸为38μm×38μm。
4.根据权利要求1所述的细节距单IC芯片封装件,其特征在于:所述铜键合线包括第一铜键合线(7)和第二铜键合线(8),所述第一铜键合线(7)的一端通过焊接在铝电镀层(6)上的第一铜键合球(9)与设有铝电镀层(6)的焊盘(5)相连接,第一铜键合线(7)的另一端拱丝拉弧与对应的框架引线内引脚(3)焊接,所述第二铜键合线(8)的一端通过直接焊接在焊盘(5)上的第二铜键合球(10)与未设置铝电镀层(6)的焊盘(5)相连接,第二铜键合线(8)的另一端拱丝拉弧与对应的框架引线内引脚(3)焊接。
5.根据权利要求4所述的细节距单IC芯片封装件,其特征在于:所述第一铜键合球(9)的直径为35μm~38μm,第二铜键合球(10)的直径为34μm~37μm。
6.如权利要求1~5中任一项所述的细节距单IC芯片封装件的制备方法,包括以下步骤:
S1、将掩膜版(11)盖在IC芯片(4)的上表面进行电镀,在第一焊盘组和第二焊盘组的多个焊盘(5)上间隔形成铝电镀层(6),所述掩膜版(11)上对应所述铝电镀层(6)处开有电镀孔(12);
S2、将IC芯片(4)的晶圆减薄至290μm~310μm并划片;
S3、取引线框架载体(2),将步骤S2经减薄划片后的IC芯片(4)固接于引线框架载体(2)上,在惰性气氛下进行烘烤;
S4、将铜线轴固定于压焊台上,穿入铜线,将步骤S3所得固接有IC芯片(4)的引线框架载体(2)预热后送到压焊台上,在每个铝电镀层(6)上堆叠一个第一铜键合球(9),然后向上拱丝拉弧至与设有铝电镀层(6)的焊盘(5)相对应的框架引线内引脚(3),并在该框架引线内引脚(3)上打一铜焊点,形成第一铜键合线(7);
S5、在未设置铝电镀层(6)的焊盘(5)上用铜丝球焊形成第二铜键合球(10),拱丝拉弧至与该焊盘(5)相对应的框架引线内引脚(3),并在该框架引线内引脚(3)上打一铜焊点,形成第二铜键合线(8);
S6、对焊接好第一铜键合线(7)和第二铜键合线(8)的引线框架载体(2)依次进行塑封、后固化、打印和分离,即得细节距单IC芯片封装件。
7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于:所述步骤S3中,惰性气氛具体是指氮气气氛,氮气流量为25mL/min~30mL/min,烘烤的时间为2.5h~3.5h,烘烤温度为140℃~160℃。
8.根据权利要求6或7所述的制备方法,其特征在于:所述步骤S4中,将固接有IC芯片(4)的引线框架载体(2)先预热至200℃~210℃后再送到压焊台上。
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