[发明专利]集成电路上的导电端子在审
| 申请号: | 201611047705.4 | 申请日: | 2016-11-23 |
| 公开(公告)号: | CN107546202A | 公开(公告)日: | 2018-01-05 |
| 发明(设计)人: | 赖昱嘉;余振华;黄章斌;刘重希;杜贤明;郭鸿毅;蔡豪益;梁世纬;刘人瑄 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/48 | 分类号: | H01L23/48;H01L23/482 |
| 代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司32243 | 代理人: | 顾伯兴 |
| 地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 集成电路 导电 端子 | ||
【权利要求书】:
1.一种集成电路上的导电端子,其特征在于,包括:
导电接垫,配置于所述集成电路上并电连接至所述集成电路;
介电层,覆盖所述集成电路及所述导电接垫,所述介电层包括排列成阵列的多个接触开口,且所述导电接垫被所述接触开口局部地暴露出;以及
导通孔,配置于所述介电层上并经由所述接触开口电连接至所述导电接垫,所述导通孔包括排列成阵列的多个凸出部,所述凸出部分布于所述导通孔的顶表面上,且所述凸出部对应于所述接触开口。
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