[发明专利]高频高输出用设备装置在审
| 申请号： | 201610697145.0 | 申请日： | 2016-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN106469698A | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | 鹤卷隆;宫胁胜巳 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | H01L23/48 | 分类号： | H01L23/48;H01L23/488;H01L23/498 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 何立波,张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高频 输出 设备 装置 | ||
【权利要求书】：
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