[发明专利]一种形貌和成分可控的金属氧化物薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种形貌和成分可控的金属氧化物薄膜的制备方法，其特征在于：首先，以金属片或合金片为基体，利用化学腐蚀氧化在金属片或合金基片表面原位生成非晶金属氧化物；然后，将获得的非晶金属氧化物薄膜在不同氧气分压下进行晶化热处理，通过调控热处理温度和时间获得形貌和成分可控的金属氧化物薄膜。

2.按照权利要求1所述的形貌和成分可控的金属氧化物薄膜的制备方法，其特征在于：所述的金属基片为Fe、Ta、Ti、W、Zn、Cu或Co，所述的合金基片为Ti/Al、Cu/Zn、Ti/Fe、Ti/W或Ti/Ta合金。

3.按照权利要求1所述的形貌和成分可控的金属氧化物薄膜的制备方法，其特征在于：所述的化学腐蚀氧化为各种金属腐蚀氧化过程，采用化学溶液腐蚀、大气腐蚀或电化学氧化腐蚀。

4.按照权利要求1所述的形貌和成分可控的金属氧化物薄膜的制备方法，其特征在于：所述的晶化热处理温度为300～1000℃，升温速度为0.1～10℃/分钟，晶化时间为0.5～48小时。

5.按照权利要求4所述的形貌和成分可控的金属氧化物薄膜的制备方法，其特征在于：优选的，所述的晶化热处理温度为500～800℃，升温速度为1～5℃/分钟，晶化时间为1～24小时。

6.按照权利要求1所述的形貌和成分可控的金属氧化物薄膜的制备方法，其特征在于：所述的晶化处理氧气分压为0～10⁵Pa。

7.按照权利要求6所述的形貌和成分可控的金属氧化物薄膜的制备方法，其特征在于：优选的，所述的晶化处理氧气分压为0～1000Pa。