[发明专利]一种形貌信息检测系统、方法及装置在审
| 申请号： | 201910917282.4 | 申请日： | 2019-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN110568225A | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 李玲;李嘉琳;吴昊;刘瑞;田亮;李永平;赛朝阳;潘艳 | 申请（专利权）人： | 全球能源互联网研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 11250 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人： | 林韵英 |
| 地址： | 102209 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种形貌信息检测系统、方法及装置，该形貌信息检测系统，包括：受测样品载体，用于放置受测样品；形貌信息检测装置，包括微型力敏感元件，用于检测所述受测样品的形貌信息；除静电装置，用于消除所述微型力敏感元件与所述受测样品之间的静电；控制器，分别与所述形貌信息检测装置、所述除静电装置连接，与所述形貌信息检测装置、所述除静电装置连接，用于控制所述除静电装置和所述形貌信息检测装置分别进行除静电和形貌信息检测操作。通过设置除静电装置，对形貌检测装置与受测样品之间的静电进行消除，避免了形貌信息检测装置与受测样品之间的静电对形貌检测结果的影响，提高了形貌检测结果的准确性以及形貌检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 形貌信息 除静电装置 检测装置 形貌检测 静电 力敏感元件 检测系统 形貌检测装置 检测操作 样品载体 控制器 除静电 检测 | ||
【主权项】：
1.一种形貌信息检测系统，其特征在于，包括：/n受测样品载体，用于放置受测样品；/n形貌信息检测装置，包括微型力敏感元件，用于检测所述受测样品的形貌信息；/n除静电装置，用于消除所述微型力敏感元件与所述受测样品之间的静电；/n控制器，与所述形貌信息检测装置、所述除静电装置连接，用于控制所述除静电装置和所述形貌信息检测装置分别进行除静电和形貌信息检测操作。/n
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