[发明专利]密封用片在审
申请号: | 201580047044.2 | 申请日: | 2015-08-21 |
公开(公告)号: | CN106796922A | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 石井淳;志贺豪士;饭野智绘 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
主分类号: | H01L23/29 | 分类号: | H01L23/29;H01L21/56;H01L23/31 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 葛凡 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 密封 | ||
1.一种密封用片,其特征在于,90℃下的粘度在1Pa·s~50000Pa·s的范围内。
2.根据权利要求1所述的密封用片,其特征在于,在纵22cm×横22cm的芯片层叠玻璃载体上,将切成纵22cm×横22cm的尺寸的密封用片重叠后,以冲压压力1MPa、冲压温度90℃、冲压时间120秒进行平板冲压时的尺寸的变化率以平板冲压前作为基准为20%以下,其中,所述纵22cm×横22cm的芯片层叠玻璃载体以纵20个×横20个、芯片安装间隔即芯片的端与芯片的端的间隔3mm安装有纵7mm×横7mm、厚度200μm的半导体芯片。
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