[发明专利]低成本图形化厚银膜的制备方法有效
| 申请号： | 201510868665.9 | 申请日： | 2015-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN105463536B | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 王博;宋正锡;杨卓青;汪红;丁桂甫;程萍 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | C25D5/02 | 分类号： | C25D5/02;C25D3/46 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 徐红银;郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 低成本 图形 化厚银膜 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种低成本图形化厚银膜的制备方法，所述方法包括如下步骤：
(1)先用碳酸钙清洗玻璃片表面，将玻璃片依次进行清水超声、弱碱超声、清水超声、铬酸超声、清水超声，烘干处理后得到干净的玻璃片；
(2)在清洗干净的玻璃片上溅射Cr/Cu种子层，依次进行甩正光刻胶、烘胶、曝光、显影处理，根据设计的掩膜版形状，实现光刻胶结构的图形化；
(3)将已经图形化的种子层放入酸性或中性银电镀液中，采用直流电镀，然后除去光刻胶和种子层，即得到图形化的厚度达到微米量级的厚银膜；
步骤(2)中，所述的Cr/Cu种子层中：Cr的厚度为20～30nm，Cu的厚度为80～100nm；
步骤(3)中，所述除去光刻胶，具体为：采用浓度为10～50g/L的NaOH溶液，正胶的厚度为5～10μm，去除时间为1～3min；
步骤(3)中，所述酸性或中性银电镀液，包括：硫代硫酸钠175～300g/L，硝酸银25～50g/L，焦亚硫酸钾35～50g/L，醋酸铵20～30g/L，硫代氨基脲0.7g/L，pH值为5～6.5；
步骤(3)中，所述的直流电镀，条件是：平均电流密度为1～10mA/cm2，温度为20～35℃，搅拌速度50～250r/min；
2.根据权利要求1所述的低成本图形化厚银膜的制备方法，其特征在于：步骤(3)中，电镀得到的镀银层，厚度为几微米到几十微米。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海交通大学，未经上海交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510868665.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
