[发明专利]Ⅲ族氮化物增强型MIS-HEMT器件及其制备方法有效
| 申请号： | 201510161362.3 | 申请日： | 2015-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN106158947B | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 张志利;张宝顺;蔡勇;付凯;于国浩;孙世闯;宋亮 | 申请（专利权）人： | 苏州能屋电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/778 | 分类号： | H01L29/778;H01L29/06;H01L21/335;H01L21/265 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氮化物 增强 mis hemt 器件 及其 制备 方法 | ||
【说明书】：
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